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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利等离子体处理装置和匹配方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113284783B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110158922.5，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权等离子体处理装置和匹配方法是由佐藤翔;吉田绚设计研发完成，并于2021-02-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本等离子体处理装置和匹配方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种能够降低将供给到等离子体处理装置的电极的电功率从高频电功率的调制波和连续波中的一者切换至另一者后的来自负载的反射的技术。一个例示的实施方式的等离子体处理装置包括腔室、高频电源、电极和匹配器。高频电源与电极电连接。匹配器连接于高频电源与电极之间。高频电源对电极供给高频电功率的连续波和调制波。调制波通过交替地增减高频电功率的功率级来生成。匹配器在从高频电源供给到电极的电功率从调制波和连续波中的一者被切换至另一者之前或者之后的供给连续波的期间中，将负载阻抗阶梯地变更至目标阻抗。

本发明授权等离子体处理装置和匹配方法在权利要求书中公布了：1.一种等离子体处理装置，其特征在于，包括： 腔室； 电极； 高频电源，其与所述电极电连接，构成为能够产生要供给到所述电极的高频电功率以用于所述腔室内的等离子体处理；和 匹配器，其连接于所述高频电源与所述电极之间，构成为能够设定作为所述高频电源的负载侧的阻抗的负载阻抗， 所述高频电源构成为能够在两个连续的期间中的在先期间，对所述电极供给所述高频电功率的调制波和连续波中的一者的功率波，在该两个连续的期间中的在后期间，对所述电极供给所述调制波和所述连续波中的另一者的功率波，其中，所述连续波是具有稳定不变的功率级的波，所述调制波是两个功率级交替且周期性地反复变化的波， 所述高频电源以交替的第一副期间和第二副期间中的该第一副期间中的所述高频电功率的功率级比该第二副期间中的所述高频电功率的功率级高的方式，生成所述调制波， 所述匹配器构成为能够通过在所述两个连续的期间中的供给所述连续波的期间中阶梯地变更所述负载阻抗，来将所述负载阻抗阶梯地变更至用于所述在后期间的目标阻抗， 所述匹配器构成为能够在供给所述连续波的所述期间中阶梯地变更所述负载阻抗，以使所述高频电功率的反射系数的绝对值阶梯地变化至用于所述在后期间的设定目标值， 所述匹配器构成为能够在从所述高频电源供给到所述电极的电功率从所述调制波被切换至所述连续波之后，阶梯地变更所述负载阻抗，以使所述高频电功率的反射系数的绝对值阶梯地减少至零。

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