应用材料以色列公司B·科恩获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料以色列公司申请的专利产生平版印刷掩膜的可比较区域的系统和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113253568B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110096951.3，技术领域涉及：G03F1/84；该发明授权产生平版印刷掩膜的可比较区域的系统和方法是由B·科恩;G·格林伯格;S·利夫希茨;S·阿达勒;O·O·达萨;Z·帕里扎特设计研发完成，并于2021-01-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本产生平版印刷掩膜的可比较区域的系统和方法在说明书摘要公布了：本公开内容的实施方式提供了用于产生用于管芯间缺陷检测技术的管芯内参考的方法。使用管芯内参考的检查方法包括寻找平版印刷掩模的相似区块，所述相似区块由相似CAD信息限定。基于i所述相似区块的区域和ii在所述相似区块之间的空间关系来选择比较距离。基于比较距离，聚合所述相似区块，以提供多个聚合区域；和基于所述多个聚合区块来限定所述平版印刷掩模的可比较区域。使用检查模块获取所述平版印刷掩模的所述可比较区域中的至少一些可比较区域的图像。比较所获取的图像。
本发明授权产生平版印刷掩膜的可比较区域的系统和方法在权利要求书中公布了：1.一种产生平版印刷掩膜的可比较区域的方法，所述方法包括： 寻找所述平版印刷掩模的相似区块；所述相似区块由相似CAD信息限定； 基于i所述相似区块的区域和ii在所述相似区块之间的空间关系来选择比较距离； 基于所述比较距离，聚合所述相似区块，以提供多个聚合区域；和 基于所述多个聚合区域来限定所述平版印刷掩模的所述可比较区域， 其中选择所述比较距离包括： 针对距离集合中的每个距离计算由所述距离间隔开的相似区块的聚合区域，由此提供聚合区域集合； 寻找所述聚合区域集合中的最高聚合区域；和 将与所述最高聚合区域相关联的所述距离限定为所述比较距离， 其中聚合所述相似区块包括： 限定连续条带，其中所述连续条带中的每一个的宽度等于所述比较距离； 在所述连续条带中的每对相邻条带内寻找由所述比较距离间隔开的相似区块；和 忽略在每对所述相邻条带内未能具有由所述比较距离间隔开的相似区块的区块，且 其中限定所述可比较区域包括下列中的至少一个：i忽略未能通过大小准则的聚合区域；和ii向彼此添加条带形聚合区域。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人应用材料以色列公司，其通讯地址为：以色列瑞哈佛特市；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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