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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利基片支承器和等离子体处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112466735B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010884511.X，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权基片支承器和等离子体处理装置是由舆水地盐设计研发完成，并于2020-08-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本基片支承器和等离子体处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供基片支承器和等离子体处理装置。本发明的基片支承器包括电介质部和至少一个电极。至少一个电极设置于电介质部之中，用于对载置于电介质部上的物体供给偏置电功率。本发明能够对搭载于基片支承器上的物体高效地供给偏置电功率。

本发明授权基片支承器和等离子体处理装置在权利要求书中公布了：1.一种等离子体处理装置，其特征在于，包括： 腔室； 设置于所述腔室内的基片支承器，其包括：电介质部；设置于所述电介质部之中的至少一个电极，其用于对载置于所述电介质部上的物体供给偏置电功率；第一静电吸盘区域，其构成为能够保持载置于其上的基片；第二静电吸盘区域，其构成为以包围所述第一静电吸盘区域的方式设置，并能够保持载置于其上的边缘环；设置于所述第二静电吸盘区域中的一个以上的电极，该一个以上的电极用于在该第二静电吸盘区域与所述边缘环之间产生静电引力，并且通过该第二静电吸盘区域对所述边缘环供给所述偏置电功率，所述一个以上的电极包含所述至少一个电极；和设置于所述第一静电吸盘区域之中的其他电极，该其他电极能够被供给偏置电功率； 直流电源，其构成为能够产生用于在所述第二静电吸盘区域与所述边缘环之间产生静电引力的电压； 构成为能够产生偏置电功率的偏置电源； 与所述偏置电源连接的共用电气总线； 从所述共用电气总线分支出来的第一电气总线，该第一电气总线用于被供给到所述其他电极的偏置电功率； 从所述共用电气总线分支出来的第二电气总线，该第二电气总线用于通过所述第二静电吸盘区域被供给到所述边缘环的偏置电功率；和 阻抗电路，其设置于所述第一电气总线和所述第二电气总线中的至少一个电气总线上， 通过所述第二静电吸盘区域被供给到所述边缘环的所述偏置电功率和被供给到所述其他电极的所述偏置电功率，是通过将由所述偏置电源产生的所述偏置电功率分配到所述第一电气总线和所述第二电气总线而生成的。

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