三星电子株式会社崔颜获国家专利权
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龙图腾网获悉三星电子株式会社申请的专利用内部生成的测试使能信号测试半导体器件的晶圆级方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111968922B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010321665.8,技术领域涉及:H01L21/66;该发明授权用内部生成的测试使能信号测试半导体器件的晶圆级方法是由崔颜;吴凛设计研发完成,并于2020-04-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本用内部生成的测试使能信号测试半导体器件的晶圆级方法在说明书摘要公布了:提供了一种测试集成电路IC器件的晶圆级方法和集成电路晶圆。所述方法包括:i向包含该IC器件的晶圆施加多个测试操作信号,ii响应于在晶圆上检测到所述多个测试操作信号中的至少一个的切换来生成测试使能信号,以及随后的iii响应于测试使能信号的生成来测试IC器件的至少一部分。所述生成的步骤还可以包括响应于在晶圆上检测到切换检测信号的非激活到激活的转变来生成测试使能信号。
本发明授权用内部生成的测试使能信号测试半导体器件的晶圆级方法在权利要求书中公布了:1.一种测试集成电路器件的晶圆级方法,包括步骤: 向包含所述集成电路器件的晶圆施加多个测试操作信号; 响应于在所述晶圆上检测到所述多个测试操作信号中的至少一个的切换来生成测试使能信号;然后 响应于所述生成测试使能信号的步骤来测试所述集成电路器件的至少一部分, 其中,检测到所述多个测试操作信号中的至少一个的切换的步骤包括:检测到在所述多个测试操作信号中的第一测试操作信号处于特定逻辑电平的时间间隔中所述多个测试操作信号中的第二测试操作信号的切换,所述第一测试操作信号是用于初始化所述集成电路器件的所述至少一部分的重置信号,并且所述第二测试操作信号是所述多个测试操作信号中除所述第一测试操作信号之外的其他信号中的任一者, 其中,在所述第二测试操作信号n次切换到特定逻辑电平之后,检测到所述第二测试操作信号的切换,其中,n是大于1的自然数。
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