芯蓥智铖(重庆)科技有限公司徐维哲获国家专利权
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龙图腾网获悉芯蓥智铖(重庆)科技有限公司申请的专利一种晶圆对位平台装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223513941U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422360490.8,技术领域涉及:H01L21/687;该实用新型一种晶圆对位平台装置是由徐维哲设计研发完成,并于2024-09-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆对位平台装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及晶圆技术领域,具体地说是一种晶圆对位平台装置。包括底座,所述的底座上端设有Y向线性移动单元,Y向线性移动单元上端连接X向线性移动单元,X向线性移动单元上端连接Z向线性移动单元,Z向线性移动单元上端连接晶圆承载盘;所述的晶圆承载盘包括转盘、承载片,转盘上端设有若干不同直径的C字型承载片,若干承载片为同心布置。同现有技术相比,晶圆承载盘开口分层设计,兼容多种规格晶圆片,适用性强,可根据实际情况进行调整。底座开槽,降低重心,Z向升降机构结构紧凑,通过外壳防护,增强精度、美观度、稳定性。
本实用新型一种晶圆对位平台装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆对位平台装置,包括底座,其特征在于:所述的底座5上端设有Y向线性移动单元1,Y向线性移动单元1上端连接X向线性移动单元2,X向线性移动单元2上端连接Z向线性移动单元3,Z向线性移动单元3上端连接晶圆承载盘4;所述的晶圆承载盘4包括转盘4-1、承载片4-2,转盘4-1上端设有若干不同直径的C字型承载片4-2,若干承载片4-2为同心布置。
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