无锡江岚智能装备有限公司张明泉获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡江岚智能装备有限公司申请的专利一种半片扩散硅片吸盘分片装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223513933U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422940169.7,技术领域涉及:H01L21/677;该实用新型一种半片扩散硅片吸盘分片装置是由张明泉;李磊;凡小康设计研发完成,并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半片扩散硅片吸盘分片装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种半片扩散硅片吸盘分片装置,属于硅片传输设备技术领域;其用于半片硅片的自动化设备上,其包括,四个同时联动的吸盘,每个吸盘固定在对应支架一侧面的支撑连接件上,支架为偏心支架设计结构,支架与升降模组的底座滑动连接,两个吸盘为一组,每组吸盘吸附一张半片硅片,两组吸盘将两张半片硅片分别放置在两个花篮中后,合并为整体并去小舟内进行取放硅片动作。本实用新型提供一种半片扩散硅片吸盘分片装置,提高整体半片自动化的产能,占地面积更小节约空间。
本实用新型一种半片扩散硅片吸盘分片装置在权利要求书中公布了:1.一种半片扩散硅片吸盘分片装置,其特征在于:其用于半片硅片的自动化设备上,其包括,四个同时联动的吸盘,每个吸盘固定在对应支架一侧面的支撑连接件上,支架为偏心支架设计结构,支架与升降模组的底座滑动连接,两个吸盘为一组,每组吸盘吸附一张半片硅片,两组吸盘将两张半片硅片分别放置在两个花篮中后,合并为整体并去小舟内进行取放硅片动作。
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