嘉兴斯达微电子有限公司张庆典获国家专利权
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龙图腾网获悉嘉兴斯达微电子有限公司申请的专利一种芯片退火用载具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223513925U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423012906.3,技术领域涉及:H01L21/673;该实用新型一种芯片退火用载具是由张庆典;易雨青设计研发完成,并于2024-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种芯片退火用载具在说明书摘要公布了:本实用新型涉及芯片退火技术领域,具体涉及一种芯片退火用载具。包括,载具本体,载具本体上设有料盒状的裸芯片凹槽,裸芯片凹槽包括多个用于放置芯片的凹陷格;晶圆插槽,呈开口状设于载具本体上。本实用新型通过提供多个凹陷格子的料盒状结构,为数量较大的裸芯片提供退火空间,同时又设有晶圆凹槽,使得该载具可以同时完成对整张晶圆和划片后的裸芯片进行退火的退火流程。
本实用新型一种芯片退火用载具在权利要求书中公布了:1.一种芯片退火用载具,其特征在于,包括, 载具本体1,所述载具本体1上设有料盒状的裸芯片凹槽2,所述裸芯片凹槽2包括多个用于放置芯片的凹陷格; 晶圆插槽3,呈开口状设于所述载具本体1上。
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