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湖南玉丰真空科学技术有限公司欧阳杰获国家专利权

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龙图腾网获悉湖南玉丰真空科学技术有限公司申请的专利一种拼装式结构载片装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223513924U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422767846.X,技术领域涉及:H01L21/673;该实用新型一种拼装式结构载片装置是由欧阳杰;刘国利;温景成;李国强设计研发完成,并于2024-11-13向国家知识产权局提交的专利申请。

一种拼装式结构载片装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种拼装式结构载片装置,属于载片设备领域,包括底框和置于底框上的托盘,托盘设置一个或一个以上,所述托盘上表面加工有若干凹槽,凹槽底部设有支撑柱和放气孔。本实用新型采用底框和托盘的分体式拼装结构,托盘采用实心结构,既降低了成本,又减少了变形,杜绝了绕镀现象;凹槽底部设有支撑柱和放气孔,支撑柱避免了在取片时因基片下沉变形而引起的取片故障,放气孔可以向凹槽内放气,避免基片与凹槽之间形成真空,使取片顺畅。

本实用新型一种拼装式结构载片装置在权利要求书中公布了:1.一种拼装式结构载片装置,其特征在于,包括底框和置于底框上的托盘,托盘设置一个或一个以上,所述托盘上表面加工有若干凹槽,凹槽底部设有支撑柱和放气孔,所述底框为内周设有第一台阶的四边形框,包括相对布置的两块长边框筋板、以及相对布置的两块端边框筋板,两块端边框筋板底部均设有端底板,端底板朝靠近另一端边框筋板的一侧延伸,底框内部设有一块或一块以上的中筋板,中筋板两端搭设于两端底板上。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人湖南玉丰真空科学技术有限公司,其通讯地址为:411100 湖南省湘潭市九华示范区大众东路2号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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