芯联越州集成电路制造(绍兴)有限公司黄体龙获国家专利权
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龙图腾网获悉芯联越州集成电路制造(绍兴)有限公司申请的专利散流装置及刻蚀设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223513906U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422766713.0，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型散流装置及刻蚀设备是由黄体龙设计研发完成，并于2024-11-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本散流装置及刻蚀设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体制造技术领域，提供了一种散流装置及刻蚀设备，所述散流装置包括第一分流件和第二分流件；所述第一分流件和所述第二分流件沿第一方向排列设置；所述第一分流件上朝向第二分流件开设有多个第一分流孔，所述第二分流件上朝向第一分流件开设有多个第二分流孔。该散流装置可实现刻蚀气体的多次匀化散流，以保证刻蚀腔体内通入刻蚀气体分布均匀，提高基片的刻蚀均匀度。
本实用新型散流装置及刻蚀设备在权利要求书中公布了：1.一种散流装置，其特征在于，包括第一分流件和第二分流件； 所述第一分流件和所述第二分流件沿第一方向排列设置； 所述第一分流件上开设有多个第一分流孔，所述第二分流件上开设有多个第二分流孔，所述第一分流孔的开孔方向朝向所述第二分流件，所述第二分流孔的开孔方向朝向所述第一分流件。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯联越州集成电路制造(绍兴)有限公司，其通讯地址为：312000 浙江省绍兴市越城区皋埠街道临江路508号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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