武汉楚兴技术有限公司裴敏强获国家专利权
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龙图腾网获悉武汉楚兴技术有限公司申请的专利一种掺氮装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223513905U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422735164.0，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型一种掺氮装置是由裴敏强设计研发完成，并于2024-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种掺氮装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体领域，公开一种掺氮装置，包括处理腔室、承载台和掺氮监测组件；承载台位于处理腔室内部，承载台包括用于承载晶圆的承载面；掺氮监测组件包括电子筛选器和电荷信号收集器；沿承载面的法线方向，电子筛选器包括相对的第一面和第二面，第一面位于处理腔室内部并凸出于承载面；电子筛选器用于过滤自第一面进入的电子并允许自第一面进入的正电荷经第二面出射；电荷信号收集器位于电子筛选器的第二面一侧，用于收集经第二面出射的正电荷。本实用新型实施例提供的掺氮装置可以通过电子筛选器过滤电子并允许正电荷通过，并通过电荷收集器收集经电子筛选器过滤后的正电荷实现掺氮的实时监测。
本实用新型一种掺氮装置在权利要求书中公布了：1.一种掺氮装置，其特征在于，包括：处理腔室、承载台和掺氮监测组件； 所述承载台位于所述处理腔室内部，所述承载台包括用于承载晶圆的承载面； 所述掺氮监测组件包括电子筛选器和电荷信号收集器； 沿所述承载面的法线方向，所述电子筛选器包括相对的第一面和第二面，所述第一面位于所述处理腔室内部并凸出于所述承载面；所述电子筛选器用于过滤自所述第一面进入的电子并允许自所述第一面进入的正电荷经所述第二面出射； 所述电荷信号收集器位于所述电子筛选器的第二面一侧，用于收集经所述第二面出射的正电荷。
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