上海芯上微装科技股份有限公司张洪博获国家专利权
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龙图腾网获悉上海芯上微装科技股份有限公司申请的专利温控系统及其温控液循环装置、曝光设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223513441U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423223472.1，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型温控系统及其温控液循环装置、曝光设备是由张洪博;吕维勋;张瑞平;赵建军设计研发完成，并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本温控系统及其温控液循环装置、曝光设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种温控系统及其温控液循环装置、曝光设备，温控液循环装置包括箱体和第一挡板；箱体具有储液腔，箱体上还设有与储液腔连通的进液口和储液口；第一挡板设置在液腔内，第一挡板的至少两个端部与储液腔的壁之间具有空隙；第一挡板所在的平面位于进液口与出液口之间，且第一挡板还部分地朝向从液口进入储液腔的温控液的来路布置，进而对温控液分流，并至少改变部分温控液的流向；分流后的各股温控液在分别流过第一挡板后，再在出液口处汇合，由此可以增加温控液与储液腔内的储液的接触量，以提高两者之间的换热量，而且分流后的温控液在重新汇合的过程进行温度互补，降低从出液口流出的温控液的温度波动幅度，提高温控液循环装置的温控精度。
本实用新型温控系统及其温控液循环装置、曝光设备在权利要求书中公布了：1.一种用于温控系统的温控液循环装置，其特征在于，包括箱体和第一挡板； 所述箱体具有储液腔，所述箱体上还设置有分别与所述储液腔连通的进液口和出液口； 所述第一挡板设置在储液腔内，并与所述箱体连接；所述第一挡板的至少两个端部与所述储液腔的壁之间形成有空隙；所述第一挡板所在的平面位于所述进液口与所述出液口之间，且所述第一挡板还部分地朝向从所述进液口进入所述储液腔的温控液的来路布置，以用于对所述温控液进行阻挡，进而对所述温控液分流，并改变至少部分所述温控液的流向。
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