芯恩(青岛)集成电路有限公司常星宇获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利光罩自动更换装置及光罩自动更换系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223513438U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422716597.1，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型光罩自动更换装置及光罩自动更换系统是由常星宇;谢世明设计研发完成，并于2024-11-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本光罩自动更换装置及光罩自动更换系统在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种光罩自动更换装置，包括数据处理终端和存储吹扫机构、光罩传输机构，数据处理终端还与外部机台通信连接；数据处理终端供与向存储吹扫机构发送更换光罩信息，向外部机台发送退出光罩信号，并向光罩传输机构发送包含更换光罩地址信息和退出光罩地址信息的运输指令；存储吹扫机构包括吹扫控制单元和光罩存储单元，吹扫控制单元供与接收更换光罩信息，并向数据处理终端反馈更换光罩在光罩存储单元中的更换光罩地址信息；光罩传输机构包括自动移动机器人，供与基于运输指令将光罩存储单元中的更换光罩运输至外部机台，并将外部机台中的退出光罩运输至光罩存储单元。提高了机台生产效率，节省了人力成本。
本实用新型光罩自动更换装置及光罩自动更换系统在权利要求书中公布了：1.一种光罩自动更换装置，其特征在于，包括数据处理终端以及与所述数据处理终端通信连接的存储吹扫机构和光罩传输机构，所述数据处理终端还与外部机台通信连接； 所述数据处理终端供与向所述存储吹扫机构发送更换光罩信息，向所述外部机台发送退出光罩信号，并向所述光罩传输机构发送包含更换光罩地址信息和退出光罩地址信息的运输指令； 所述存储吹扫机构包括吹扫控制单元以及与所述吹扫控制单元连接的光罩存储单元，所述吹扫控制单元供与接收所述更换光罩信息，并向所述数据处理终端反馈更换光罩在所述光罩存储单元中的更换光罩地址信息； 所述光罩传输机构包括自动移动机器人，所述自动移动机器人供与基于所述运输指令将所述光罩存储单元中的更换光罩运输至所述外部机台，并将所述外部机台中的退出光罩运输至所述光罩存储单元。
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