湖南烁科晶磊半导体科技有限公司;中国电子科技集团公司第四十八研究所杨瑛获国家专利权
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龙图腾网获悉湖南烁科晶磊半导体科技有限公司;中国电子科技集团公司第四十八研究所申请的专利一种用于MBE设备的衬底温度测量装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223512815U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423201163.4，技术领域涉及：G01J5/48；该实用新型一种用于MBE设备的衬底温度测量装置是由杨瑛;吕文利;黄尧;陈丹旻;龚欣;陈峰武;李智;戴浩设计研发完成，并于2024-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于MBE设备的衬底温度测量装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于MBE设备的衬底温度测量装置，利用固定罩连接MBE设备的观察窗，调节器的一端嵌套在固定罩内，调节器的另一端与安装壳体连接；支撑杆的一端与红外光学镜头连接，支撑杆的另一端与安装壳体连接，红外光学镜头和支撑杆均位于调节器和安装壳体内部，且红外光学镜头朝向观察窗，以用于拍摄衬底的图像；调节器用于调节红外光学镜头的拍摄角度；图像处理模块设置在安装壳体内部，图像处理模块用于将红外光学镜头拍摄的图像转换为热红外图像，再将热红外图像转换成电信号并向外部设备传输。本实用新型具有结构紧凑、稳定性高且有利于提升温度测量均匀性等特点，实现了实时精准监测MBE设备的衬底温度，确保了产品质量。
本实用新型一种用于MBE设备的衬底温度测量装置在权利要求书中公布了：1.一种用于MBE设备的衬底温度测量装置，其特征在于，包括：固定罩1、调节器2、红外光学镜头3、支撑杆4、图像处理模块和安装壳体； 所述固定罩1用于连接MBE设备的观察窗，所述调节器2的一端嵌套在固定罩1内，调节器2的另一端与安装壳体连接； 所述支撑杆4的一端与红外光学镜头3连接，支撑杆4的另一端与安装壳体连接，所述红外光学镜头3和支撑杆4均位于调节器2和安装壳体内部，且红外光学镜头3朝向观察窗，以用于拍摄衬底的图像；所述调节器2用于调节红外光学镜头3的拍摄角度； 所述图像处理模块设置在安装壳体内部，所述图像处理模块用于将红外光学镜头3拍摄的图像转换为热红外图像，再将热红外图像转换成电信号并向外部设备传输。
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