河南东微电子材料有限公司王东旭获国家专利权
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龙图腾网获悉河南东微电子材料有限公司申请的专利一种靶材刻蚀跑道深度的滑动测量规获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223512729U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422983787.X，技术领域涉及：G01B21/18；该实用新型一种靶材刻蚀跑道深度的滑动测量规是由王东旭;李心然设计研发完成，并于2024-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种靶材刻蚀跑道深度的滑动测量规在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种靶材刻蚀跑道深度的滑动测量规，属于半导体技术领域，包括底座；定位盘，其用于对靶材定位，所述定位盘安装在底座上表面；两根支架，两根支架分别设置在定位盘的两侧，定义两根支架的排布方向为左右方向；测量结构，其用于测量靶材刻蚀跑道的深度，测量结构位于定位盘上方，所述测量结构包括与所述支架固定连接的承重板，承重板上设有可沿左右方向滑动的平面度测量仪；本实用新型通过在定位盘上方设置可左右滑动的平面度测量仪，测量时，定位盘对靶材进行定位和固定，通过滑动平面度测量仪，即可快速对靶材刻蚀跑道的深度进行测量，其制造成本相对更低，且测量速度和测量精度都有明显提高。
本实用新型一种靶材刻蚀跑道深度的滑动测量规在权利要求书中公布了：1.一种靶材刻蚀跑道深度的滑动测量规，其特征在于，包括： 底座1； 定位盘2，其用于对靶材6定位，所述定位盘2安装在底座1上表面； 两根支架4，两根支架4分别设置在定位盘2的两侧，定义两根支架4的排布方向为左右方向； 测量结构5，其用于测量靶材6刻蚀跑道的深度，测量结构5位于定位盘2上方，所述测量结构5包括与所述支架4固定连接的承重板51，承重板51上设有可沿左右方向滑动的平面度测量仪55。
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