沈阳工业大学冯玉娇获国家专利权
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龙图腾网获悉沈阳工业大学申请的专利一种自动定位的晶圆固定视觉测量仪获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223512709U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520247398.2，技术领域涉及：G01B11/24；该实用新型一种自动定位的晶圆固定视觉测量仪是由冯玉娇;赵文辉;杜兴;王永在;王峻峰设计研发完成，并于2025-02-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种自动定位的晶圆固定视觉测量仪在说明书摘要公布了：本实用新型属于半导体制造检测技术领域，尤其涉及一种自动定位的晶圆固定视觉测量仪。其通过多轴运动控制与负压吸附技术的集成，解决晶圆动态测量中的定位偏移、数据完整性不足及效率低下问题。包括工作台；工作台上设置有横向电动平移台，该横向电动平移台上设置有立柱，横向电动平移台用于实现立柱沿X轴方向移动；立柱一侧设置有纵向组距调节电动平移台，纵向组距调节电动平移台上设置有横向镜头调节电动平移台；横向镜头调节电动平移台上设置有中空旋转台；中空旋转台上安装有晶圆测量装置；该晶圆测量装置用于测量待测晶圆；工作台上、晶圆测量装置下方设置有四轴转台，四轴转台上安装有托盘，该托盘底部安装有负压发生器。
本实用新型一种自动定位的晶圆固定视觉测量仪在权利要求书中公布了：1.一种自动定位的晶圆固定视觉测量仪，包括工作台；其特征在于：所述工作台10上设置有横向电动平移台1，该横向电动平移台1上设置有立柱2，横向电动平移台1用于实现立柱沿X轴方向移动； 立柱2一侧设置有纵向组距调节电动平移台3，纵向组距调节电动平移台3上设置有横向镜头调节电动平移台4，用于带动横向镜头调节电动平移台4在Z轴方向位移调节； 横向镜头调节电动平移台4上设置有中空旋转台5，用于带动中空旋转台5在Y轴方向位移调节；中空旋转台5上安装有晶圆测量装置6；该晶圆测量装置6用于测量待测晶圆； 工作台10上、晶圆测量装置6下方设置有四轴转台9，四轴转台9上安装有托盘7，该托盘7底部安装有负压发生器8，托盘7上用于放置待测晶圆，负压发生器8用于吸附待测晶圆。
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