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龙图腾网获悉爱利彼半导体设备(上海)有限公司申请的专利一种半导体陶瓷加热盘的平面度检测装置及其检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120721040B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511212957.7，技术领域涉及：G01B21/30；该发明授权一种半导体陶瓷加热盘的平面度检测装置及其检测方法是由谷旭龙;常强设计研发完成，并于2025-08-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体陶瓷加热盘的平面度检测装置及其检测方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体加工设备技术领域，具体是涉及一种半导体陶瓷加热盘的平面度检测装置及其检测方法，包括升降对接装置、旋转调节轴、贴合模拟板、移动检测装置、移动调节台、自清理检测桶、限位固定装置和连接座；升降对接装置安装在工作台的上方；旋转调节轴安装在升降对接装置的轴心位置；贴合模拟板安装在旋转调节轴的底部；移动检测装置安装在旋转调节轴上；移动调节台设置在贴合模拟板的下方；自清理检测桶安装在移动调节台上；限位固定装置安装在自清理检测桶的内部；连接座安装在移动调节台的下方，连接座用于连接陶瓷加热盘的加热元件，有效提高了检测结果的准确性和有效性。

本发明授权一种半导体陶瓷加热盘的平面度检测装置及其检测方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体陶瓷加热盘的平面度检测装置，包括安装于工作台1上的模拟检测装置，其特征在于，模拟检测装置包括升降对接装置2、旋转调节轴3、贴合模拟板4、移动检测装置5、移动调节台6、自清理检测桶7、限位固定装置8和连接座9； 升降对接装置2安装在工作台1的上方； 旋转调节轴3安装在升降对接装置2的轴心位置； 贴合模拟板4安装在旋转调节轴3的底部，贴合模拟板4的内部设有温度传感器，贴合模拟板4底部设有模拟贴合面，模拟贴合面用于与待检测的陶瓷加热盘11的检测面进行紧密抵触，以模拟实际工作条件下半导体与陶瓷加热盘11的贴合状态，贴合模拟板4上设有检测口41； 移动检测装置5安装在旋转调节轴3上，移动检测装置5的检测端竖直向下设置； 移动调节台6设置在贴合模拟板4的下方，移动调节台6的移动端水平滑动； 自清理检测桶7安装在移动调节台6上； 限位固定装置8安装在自清理检测桶7的内部，限位固定装置8的顶部用于承托待检测的陶瓷加热盘11，限位固定装置8与自清理检测桶7滑动连接； 连接座9安装在移动调节台6的下方，连接座9用于连接陶瓷加热盘11的加热元件。

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