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深圳镭赫技术有限公司飞利浦·肖恩·加斯塔尔多获国家专利权

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龙图腾网获悉深圳镭赫技术有限公司申请的专利一种承载装置和承载装置的工作方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120600687B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511093065.X,技术领域涉及:H01L21/683;该发明授权一种承载装置和承载装置的工作方法是由飞利浦·肖恩·加斯塔尔多设计研发完成,并于2025-08-06向国家知识产权局提交的专利申请。

一种承载装置和承载装置的工作方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种承载装置和承载装置的工作方法。承载装置包括:承载基体,包括用于承载样品的承载面,承载基体具有贯穿承载面的顶针孔和位于顶针孔侧壁周围的吸附结构,吸附结构表面为承载面;气腔,气腔用于提供吸附力;顶针具有相对的第一端面和第二端面以及连接第一端面和第二端面的侧壁结构,承载面暴露第一端面;顶针和吸附结构中的一者或两者中具有吸附通道,吸附通道用于吸附样品;第一端面指向第二端面的方向为第一方向;顶针中具有辅助气道,若顶针升降至使第一端面处于第一位置辅助气道使吸附通道与气腔断开,若顶针升降至使第一端面处于第二位置辅助气道使吸附通道与气腔连通;第一位置至第二位置的指向与第一方向相同。

本发明授权一种承载装置和承载装置的工作方法在权利要求书中公布了:1.一种承载装置,其特征在于,包括: 承载基体,包括用于承载样品的承载面,所述承载基体具有贯穿所述承载面的顶针孔和位于所述顶针孔侧壁周围的吸附结构,所述吸附结构表面为所述承载面; 气腔,所述气腔用于提供吸附力; 顶针,用于在所述顶针孔中做升降运动;所述顶针具有相对的第一端面和第二端面以及连接所述第一端面和所述第二端面的侧壁结构,所述承载面暴露出所述第一端面;所述顶针和所述吸附结构中的一者或两者中具有吸附通道,所述吸附通道用于吸附所述样品; 所述顶针的所述第一端面指向所述第二端面的方向为第一方向; 所述顶针中具有辅助气道,若所述顶针升降至使所述第一端面处于第一位置,所述辅助气道使所述吸附通道与所述气腔断开,若所述顶针升降至使所述第一端面处于第二位置,所述辅助气道使所述吸附通道与气腔连通;所述第一位置至所述第二位置的指向与所述第一方向相同。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人深圳镭赫技术有限公司,其通讯地址为:518063 广东省深圳市南山区粤海街道高新区社区高新南九道10号深圳湾科技生态园10栋503;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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