中国科学院上海光学精密机械研究所;台州光电产业创新中心潘靖宇获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院上海光学精密机械研究所;台州光电产业创新中心申请的专利一种用于半球谐振子镀膜应力检测的专用调整架及其检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119803745B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411840725.1，技术领域涉及：G01L5/00；该发明授权一种用于半球谐振子镀膜应力检测的专用调整架及其检测方法是由潘靖宇;徐天柱;刘世杰;田云先;程鑫;刘昶;叶闻语设计研发完成，并于2024-12-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于半球谐振子镀膜应力检测的专用调整架及其检测方法在说明书摘要公布了：一种用于半球谐振子镀膜应力检测的专用调整架及其检测方法，该调整架包括三爪卡盘、轴向与横向旋转台、二维及三维位移台和光谱共焦探头，能够牢固夹持谐振子并实现其在多个维度的精确调整与旋转，确保谐振子与旋转轴同心；检测方法包括利用球面干涉仪检测未镀膜和镀膜后的谐振子表面面型，通过七维调整架调整谐振子位置，使用拼接算法重构完整面型，比较镀膜前后的面型数据，再通过推导出的应力应变公式，计算出谐振子的应力。本发明可以直接对谐振子的镀膜热应力进行检测，不会对谐振子与薄膜造成损伤，而且具有较高的检测效率，同时保证了检测的精度。
本发明授权一种用于半球谐振子镀膜应力检测的专用调整架及其检测方法在权利要求书中公布了：1.一种用于测量谐振子的轴向变形的干涉测量机构，其特征在于，包括： 三爪卡盘4，用于自定心，通过夹持谐振子3的杆部确保谐振子3与轴向方位旋转的旋转台5同心； 轴向方位旋转的旋转台5，与所述三爪卡盘4同心安装，允许所述谐振子3在轴向方位进行旋转； 二维位移台6，安装于横向方位旋转的旋转台7上，供所述轴向方位旋转的旋转台5放置，用于所述谐振子3与所述横向方位旋转的旋转台7的旋转轴对心调整； 横向方位旋转的旋转台7，安装于三维位移台8上，供所述二维位移台6放置，允许所述谐振子3在横向方位进行旋转； 三维位移台8，供所述横向方位旋转的旋转台7放置，用于干涉测量时谐振子空间位置的对准； 光谱共焦探头19和光谱共焦探头210安装时对准旋转轴，当谐振子3安装后检测所述谐振子3表面的空间绝对位置，并在调整所述谐振子3与旋转轴的同心度时提供实时反馈； 调整完毕后使用干涉仪1配备球面标准镜2进行干涉测量，并将测量结果带入半球谐振子应力公式，计算半球谐振子的应力。
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