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龙图腾网获悉环球晶圆股份有限公司申请的专利旋转式磊晶设备及晶圆承载组件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119542209B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410442598.3，技术领域涉及：H01L21/673；该发明授权旋转式磊晶设备及晶圆承载组件是由庄志远;吴翰宗设计研发完成，并于2024-04-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本旋转式磊晶设备及晶圆承载组件在说明书摘要公布了：本发明公开一种旋转式磊晶设备及晶圆承载组件。所述晶圆承载组件包含一承载盘及可拆卸地安装于所述承载盘的一防护件。所述承载盘具有自其顶面凹设的多个晶圆槽，并且每个所述晶圆槽包含有用于供一晶圆容置于内的一容置区域。所述承载盘能通过所述顶面的圆心而与每个所述晶圆槽的槽顶缘定义有两条切线。每个所述晶圆槽的所述槽顶缘具有一内切段，其邻近所述圆心且位于两条所述切线之间。所述防护件具有多个阻挡部，其分别跨越多个所述晶圆槽的所述内切段、但未处于相对应所述晶圆槽的所述区域之内。据此，通过在近乎不影响磊晶作业的情况之下配置所述防护件，进而有效地降低晶圆自所述晶圆承载组件脱离或飞片的可能性。

本发明授权旋转式磊晶设备及晶圆承载组件在权利要求书中公布了：1.一种旋转式磊晶设备，其特征在于，所述旋转式磊晶设备包括： 一承载盘，其具有自其顶面凹设的多个晶圆槽，并且所述承载盘能通过所述顶面的圆心而与每个所述晶圆槽的槽顶缘定义有两条切线；其中，每个所述晶圆槽的所述槽顶缘具有一内切段，所述内切段邻近所述圆心且位于两条所述切线之间；每个所述晶圆槽的中心线与所述槽顶缘相隔有一槽半径；其中，每个所述晶圆槽包含有： 一容置区域，其用于供一晶圆容置于其内；及 一缓冲区域，其位于所述顶面与所述容置区域之间，并且所述缓冲区域连通于所述容置区域且具有所述槽顶缘； 一防护件，其可拆卸地安装于所述承载盘；其中，所述防护件具有多个阻挡部，其分别跨越多个所述晶圆槽的所述内切段、但未处于相对应所述晶圆槽的所述容置区域之内；其中，每个所述阻挡部与相对应所述晶圆槽的所述中心线相隔有一限位距离，其小于相对应所述晶圆槽的所述槽半径、但大于或等于所述槽半径的95％；以及 一设备本体，其定义有一旋转轴线，并且所述承载盘安装于所述设备本体；其中，所述承载盘的所述圆心位于所述旋转轴线，以使所述设备本体能够驱使所述承载盘以所述旋转轴线为轴心而沿一旋转方向转动。

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