清华大学李荐民获国家专利权
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龙图腾网获悉清华大学申请的专利背照式光电二极管结构及制备方法、X射线探测器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119384049B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411425325.4,技术领域涉及:H10F30/221;该发明授权背照式光电二极管结构及制备方法、X射线探测器是由李荐民;陈志强;李元景;张丽;李玉兰设计研发完成,并于2024-10-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本背照式光电二极管结构及制备方法、X射线探测器在说明书摘要公布了:本申请公开了一种背照式光电二极管结构及制备方法、X射线探测器,属于核技术应用中的半导体光电传感器领域。所述背照式光电二极管结构包括:外延层,包括位于所述外延层的非感光侧的电极区;第一介质层,位于所述外延层的非感光侧;电极及引线,位于所述第一介质层背离所述外延层的一侧,并贯穿所述第一介质层与所述电极区连接;键合层,位于所述电极及引线背离所述第一介质层的一侧,且覆盖所述电极及引线;载片,与所述键合层背离所述电极及引线的一侧相键合;硅通孔结构,贯穿所述载片和所述键合层,并与所述电极及引线连接。本申请能够降低破片风险,适用于大尺寸CMOS工艺线,提高生产效率,且降低成本,实现周侧可拼接。
本发明授权背照式光电二极管结构及制备方法、X射线探测器在权利要求书中公布了:1.一种背照式光电二极管结构的制备方法,其特征在于,包括: 提供基底、第一介质层和电极及引线,所述基底包括外延层,所述外延层包括位于所述外延层的非感光侧的电极区,所述第一介质层位于所述外延层的非感光侧,所述电极及引线位于所述第一介质层背离所述外延层的一侧,并贯穿所述第一介质层与所述电极区连接;所述电极区包括横向间隔设置的第一高掺杂区和第二高掺杂区,所述第一高掺杂区与所述外延层的掺杂类型相反,所述第二高掺杂区与所述外延层的掺杂类型相同; 在所述电极及引线背离所述第一介质层的一侧形成键合层,且所述键合层覆盖所述电极及引线; 将载片与所述键合层背离所述电极及引线的一侧相键合; 对所述基底背离所述第一介质层的一侧进行减薄处理; 形成贯穿所述载片和所述键合层的硅通孔结构,且所述硅通孔结构与所述电极及引线连接。
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