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中南钻石有限公司张国凯获国家专利权

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龙图腾网获悉中南钻石有限公司申请的专利用于微波电真空器件的金刚石窗口及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118899204B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410845661.8,技术领域涉及:H01J9/00;该发明授权用于微波电真空器件的金刚石窗口及其制备方法是由张国凯;邢志华;郭世峰;易良成;郭崇;杨怀建;戚燕杰;申幸卫;任爽设计研发完成,并于2024-06-27向国家知识产权局提交的专利申请。

用于微波电真空器件的金刚石窗口及其制备方法在说明书摘要公布了:用于微波电真空器件的金刚石窗口制备方法,其特征在于,具体按以下步骤实施:对金刚石单晶片进行清洗;对金刚石单晶片的波导区进行物理遮挡;对金刚石单晶片封焊区域进行化学气相刻蚀,对金刚石单晶片进行粗化、活化;预制键合金属框架层;键合金属框架层组装在刻蚀片封焊区的两面,并进行高温键合处理;最后进行封装处理。金刚石窗口包括键合金属框架层,键合金属框架层由键合接触层、骨架支撑层和封装结合层组成,其中键合接触层与骨架支撑层的厚度比为1:2‑4,键合接触层与封装结合层的厚度比为1:5‑10,通过该方法获得的可以满足大功率微波电真空条件下使用的窗口,其微波性能、真空漏率等技术指标性能优异。

本发明授权用于微波电真空器件的金刚石窗口及其制备方法在权利要求书中公布了:1.用于微波电真空器件的金刚石窗口制备方法,其特征在于,具体按以下步骤实施: 步骤1、对金刚石单晶片进行清洗; 步骤2、标记金刚石单晶片的中心区域为波导区,波导区的外围为封焊区,对波导区进行物理遮挡处理,得到遮挡片; 步骤3、对步骤2中的遮挡片进行化学气相刻蚀,使得封焊区进行粗化、活化,得到刻蚀片; 步骤4、预制键合金属框架层: 预制金属箔片,将键合接触层、骨架支撑层、封装结合层依次进行组装,并记作键合金属框架层; 步骤5、将步骤4中所述键合金属框架层组装在刻蚀片封焊区的两面,其中键合接触层与封焊区相接,然后使用六面顶压机进行高温键合处理,得到用于窗口的金刚石组合材料X; 步骤6、采用高真空封装设备,对步骤5中用于窗口的金刚石组合材料X进行封装处理。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中南钻石有限公司,其通讯地址为:473200 河南省南阳市方城县中南公司院内;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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