天津大学王与烨获国家专利权
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龙图腾网获悉天津大学申请的专利一种塑封元器件内部缺陷的检测方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118897012B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410952283.3,技术领域涉及:G01N29/24;该发明授权一种塑封元器件内部缺陷的检测方法是由王与烨;李春晖;徐德刚;姚建铨设计研发完成,并于2024-07-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种塑封元器件内部缺陷的检测方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种塑封元器件内部缺陷的检测方法,涉及缺陷检测技术领域,包括以下步骤:塑封元器件的预处理;光声信号采集;时域波形提取和分析。本发明采用上述一种塑封元器件内部缺陷的检测方法,利用基于光声效应的光声检测系统测量了不同塑封元器件的光声图像,提取沿激光和超声波传播方向上塑封元器件不同位置处的时域波形,通过分析时域波形反射峰位置、形状、强度特性,实现塑封元器件内部缺陷的识别、定位及缺陷类型分析,利用光声效应分辨出塑封元器件内部的缺陷区域及缺陷类型,为塑封元器件内部缺陷的无损检测提供了一种新的手段,对提高塑封元器件可靠性具有重要意义。
本发明授权一种塑封元器件内部缺陷的检测方法在权利要求书中公布了:1.一种塑封元器件内部缺陷的检测方法,其特征在于,包括以下步骤: 步骤一、塑封元器件的预处理:在塑封元器件表面滴加耦合剂; 步骤二、光声信号采集:将预处理后的塑封元器件放置在测试平台上,对塑封元器件进行光声扫描检测获取原始数据; 步骤三、时域波形提取和分析:提取塑封元器件表面不同位置处的时域波形,数据值的大小代表待测点超声信号的强弱;通过对比时域波形数据,根据时域波形出现异常的位置、形状、强度特性判断器件有无缺陷,若有缺陷存在,进一步获取缺陷所在位置; 塑封元器件为环氧树脂封装、硅胶封装、陶瓷封装、玻璃封装、金属封装完成的塑封元器件中的一种; 所述步骤二中通过光声检测系统进行光声信号采集,光声检测系统包括纳秒激光源,纳秒激光源的纳秒激光光束经过光路系统入射到激光反射镜,将超声探头与反射激光光束相互靠近,激光反射镜和超声探头置于音圈电机侧方,音圈电机用于扫描控制实现激光在待测样品表面扫描,激光经过聚焦后照射在待测样品表面激发出超声信号,超声信号在塑封元器件中向前传输,当遇到界面、气泡、空洞缺陷时,超声信号返回被超声探头测量; 纳秒激光源的波长设置为532nm或556nm,且单次脉冲能量与峰值功率密度不会对待测物表面造成损坏、重复频率在1kHz; 超声探头中心频率为60MHz; 所述步骤三的具体步骤包括: 步骤S31、获取沿激光和超声波传播方向上的每一列数据; 步骤S32、提取塑封元器件表面不同位置处的时域波形,对比分析时域波形反射峰位置、形状、强度特性等,波形异常位置区域代表缺陷区域,即可区别出正常区域和缺陷区域,根据时域波形图中异常值出现的位置确定缺陷出现的位置,包括缺陷深度与平面坐标; 步骤S33、将位置信息映射到二维平面图,形成x-y平面图和x-z剖面图,获得显示缺陷位置、大小、形状的二维光声图像,确定缺陷类型;δt 所述步骤S32中通过光声方程获取在δt脉冲能量激励下的光声信号分析正常区域和缺陷区域的时域波形,表达式如下所示: 其中,vs为超声波在介质中的传输速度,pr,t为在待测物内部t时刻位于r处的光声压,p0r'为声源某一位置处的光声压,δt为冲激函数,用于表示激光脉冲,为偏导数符号; 所述步骤一中覆盖在塑封元器件表面的耦合剂为超纯水或甘油,将超纯水或甘油放置在超声振动装置中排除气泡再进行使用,用于保证在检测过程中超声探头与塑封元器件之间不存在气泡; 所述步骤S32中的缺陷深度的计算公式如下所示: 其中,d为缺陷所在深度,vs为超声波在介质中的传输速度,N为z轴方向上的采样点数量,fs为采样频率。
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