北京工业大学金冬月获国家专利权
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龙图腾网获悉北京工业大学申请的专利一种结温可调的垂直腔面发射激光器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116207605B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211549261.X,技术领域涉及:H01S5/024;该发明授权一种结温可调的垂直腔面发射激光器是由金冬月;周钰鑫;张万荣;那伟聪;雷鑫;刘圆圆;韩赵会设计研发完成,并于2022-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种结温可调的垂直腔面发射激光器在说明书摘要公布了:本发明公开了一种结温可调的垂直腔面发射激光器,包括由N型电极10和衬底层11组成的衬底,由N型DBR31、有源区32、SiO2层33、氧化限制层34、P型DBR35、正电极36组成的VCSEL,和由P型电极端21、多组热电偶对和接地端26组成的串联热电偶对。本发明所述激光器还可由多个结温可调的垂直腔面发射激光器构成二维阵列结构,其中每个结温可调的垂直腔面发射激光器的结温均可通过设置相应的P型电极端21注入的电流进行调节。与常规垂直腔面发射激光器相比,本发明可实现对单个激光器和具有二维阵列结构激光器结温的精准调控,从而有效提高激光器的热可靠性。
本发明授权一种结温可调的垂直腔面发射激光器在权利要求书中公布了:1.一种结温可调的垂直腔面发射激光器,其特征在于,自底向上依次包括衬底、垂直腔面发射激光器VCSEL和串联热电偶对; 所述VCSEL自底向上依次包括N型DBR31、有源区32、SiO2层33、氧化限制层34、P型DBR35、正电极36; 所述串联热电偶对包括P型电极端21、多组热电偶对和接地端26,其中每组热电偶对均包括P型热电偶23、冷端22、N型热电偶25和热端24; 所述P型电极端21自上向下分别经由SiO2层33、有源区32、N型DBR31到达衬底层11内部并与P型热电偶23相连,且P型电极端21与正电极36不相连; 所述多组热电偶对的组数为大于等于4的偶数,且所述多组热电偶对均对称地分布在P型DBR35的外侧,并呈正多边形分布形式; 所述冷端22和热端24分别位于SiO2层33和衬底层11的内部; 所述接地端26位于衬底层11的内部,且分别与热端24和N型电极10相连。
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