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龙图腾网获悉浙江大学;苏州艾科瑞思智能装备股份有限公司申请的专利键合晶圆气泡检测装置及分选系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115863197B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211524975.5，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权键合晶圆气泡检测装置及分选系统是由王敕;卜佳俊;赵亚利;于飞;陈柏;王旦设计研发完成，并于2022-11-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本键合晶圆气泡检测装置及分选系统在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体制造技术领域，具体公开了键合晶圆气泡检测装置及分选系统。该装置用于检测键合晶圆，包括平台和晶圆载台；平台安装有红外光源和检测模块，红外光源用于照射位于检测位置的键合晶圆，检测模块包括立柱、固设于立柱的第一视觉检测单元和活动安装于立柱的第二视觉检测单元，第一视觉检测单元正对检测位置，第二视觉检测单元选择性地置于第一视觉检测单元与检测位置的连线之间，平台设有至少两个承载位置；晶圆载台与承载位置数量相同且对应，用于将键合晶圆在检测位置与一个承载位置之间移动。该装置通过多个晶圆载台共用同一检测模块的设计，优化了检测流程，提高了检测效率，同时借助检测模块的改进，方便视觉检测模式的切换。

本发明授权键合晶圆气泡检测装置及分选系统在权利要求书中公布了：1.键合晶圆气泡检测装置，用于检测键合晶圆900，其特征在于，包括： 平台100，安装有红外光源400和检测模块500，所述红外光源400用于照射位于检测位置的所述键合晶圆900，所述检测模块500包括立柱510、固设于所述立柱510的第一视觉检测单元520和活动安装于所述立柱510的第二视觉检测单元530，所述第一视觉检测单元520正对所述检测位置，所述第二视觉检测单元530选择性地置于所述第一视觉检测单元520与所述检测位置的连线之间，所述平台100设有至少两个承载位置； 晶圆载台300，所述晶圆载台300与所述承载位置数量相同且一一对应，所述晶圆载台300用于将所述键合晶圆900在所述检测位置与一个所述承载位置之间移动； 检测模块500还包括线性致动器540，所述线性致动器540用于控制所述第二视觉检测单元530在遮挡位置与避让位置之间切换；当所述第二视觉检测单元530处于所述遮挡位置时，所述第二视觉检测单元530接受所述红外光源400穿过位于所述检测位置的所述键合晶圆900的光线，当所述第二视觉检测单元530处于所述避让位置时，所述第一视觉检测单元520接受所述红外光源400穿过位于所述检测位置的所述键合晶圆900的光线。

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