科磊股份有限公司H·施托舒斯获国家专利权
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龙图腾网获悉科磊股份有限公司申请的专利系统响应的实时检测及校正获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115810529B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211656396.6，技术领域涉及：H01J37/153；该发明授权系统响应的实时检测及校正是由H·施托舒斯;S·艾林;C·西尔斯设计研发完成，并于2019-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本系统响应的实时检测及校正在说明书摘要公布了：本申请涉及系统响应的实时检测及校正。本发明实施例可包含用于校正电子束工具的响应函数的方法、系统及设备。所述校正可包含：调制具有频率的电子束参数；基于所述电子束参数朝向样本发射电子束，由此将电子散射，其中所述电子束由具有源相位及着陆角度的源波函数描述；在电子检测器处检测所述经散射电子的一部分，由此产生包含具有电子相位及电子着陆角度的电子波函数的电子数据；使用处理器来确定所述源相位与所述电子相位之间的相位延迟，由此产生等待时间；及使用所述处理器，使用所述等待时间及所述源波函数与所述电子波函数之间的差来校正所述电子束工具的所述响应函数。
本发明授权系统响应的实时检测及校正在权利要求书中公布了：1.一种校正方法，其包括： 向样本发射电子束； 调制所述电子束以获得束信号，其中所述电子束由具有源相位及着陆角度的源波函数描述； 使用电子检测器检测由所述样本发射的包括次级电子和背向散射电子的经散射电子的一部分，以获得电子数据，其中所述电子数据包含具有电子相位及电子着陆角度的电子波函数； 使用处理器确定所述源相位与所述电子相位之间的相位延迟；以及 使用所述处理器，基于所述相位延迟以及所述源波函数与所述电子波函数之间的差，校正所述电子束工具的响应函数。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人科磊股份有限公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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