西北大学赵伟获国家专利权
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龙图腾网获悉西北大学申请的专利一种基于矢量图结构和光场调制的激光刻印系统与方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115629480B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210994800.4,技术领域涉及:G02B27/09;该发明授权一种基于矢量图结构和光场调制的激光刻印系统与方法是由赵伟;朱月强设计研发完成,并于2022-08-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于矢量图结构和光场调制的激光刻印系统与方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于矢量图结构和光场调制的激光刻印系统和方法,涉及光学及激光加工领域。该系统主要包括:激光器、光束整型与偏振调制模块、光束调制模块、物镜。本发明通过解析矢量图信息获取待加工结构的基本构成形状、尺寸和位置信息,进而设计相应的空间光调制器全息相位图,并在激光加工系统中通过空间光调制器加载全息相位图进行相位调制,在物镜的聚焦平面直接生成这些基本形状所对应的矢量光斑包括而不限于点、线段、圆、椭圆、曲线,全自动的在材料上直接刻印这些基本结构,实现对复杂结构的平面加工,最后结合逐层加工技术,实现对复杂结构的三维加工,显著降低加工不确定性,极大提升加工效率、精度、一致性和光滑性。
本发明授权一种基于矢量图结构和光场调制的激光刻印系统与方法在权利要求书中公布了:1.一种基于矢量图结构和光场调制的激光刻印系统,其特征在于,所述系统用于将一个复杂的图形分解成基本形状,按基本形状去加工合成这个复杂图形;包括:激光器、光束整型与偏振调制模块、光束调制模块、小孔光阑、二向色镜、物镜、第二反射镜、相机; 所述激光器出射相应的激光光束并入射至所述光束整型与偏振调制模块,经所述光束整型与偏振调制模块整型和偏振态调节后的激光光束入射至所述光束调制模块,所述光束调制模块对激光光束按加工流程实时加载待加工材料基本形状的全息相位图以生成与矢量加工路径相对应的光斑结构,调制后的光斑结构入射至所述物镜的后孔径平面,所述物镜对入射至后孔径平面的光束进行聚焦,汇聚至待加工材料上实现待加工材料的激光刻印; 光束调制模块调制后的激光光束依次经过小孔光阑、二向色镜入射至所述物镜的后孔径平面;其中,所述小孔光阑用于隔档光束调制模块产生的零级光斑;所述二向色镜用以反射调制后的光斑结构和透射光刻胶发射的荧光;所述荧光通过第二反射镜入射至相机,相机用于实时观察光刻结构; 所述全息相位图的生成,具体包括:对待加工材料的矢量图进行解析尺寸和解析结构;所述解析尺寸为将复杂矢量图形解析为n个分区,所述解析结构为将复杂矢量图解析为基本形状;对结构分区通过匹配矢量图来找到对应的基本形状,并通过基本形状、位置和走向来生成相应的全息相位图;其中,能够通过一个全息相位图同时产生多个基本形状。
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