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龙图腾网获悉宁波润华全芯微电子设备有限公司申请的专利一种匀胶显影单元的排风系统及其控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115598928B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211341552.X，技术领域涉及：G03F7/16；该发明授权一种匀胶显影单元的排风系统及其控制方法是由姜岩松;耿克涛;魏澎涛;王石磊设计研发完成，并于2022-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种匀胶显影单元的排风系统及其控制方法在说明书摘要公布了：本发明涉及排风系统技术领域，具体涉及一种用于匀胶显影单元的排风系统及其控制方法，本发明能够提高匀胶显影单元工作过程中环境风压的稳定，解决多工位工作时无法保持恒压的技术问题，匀胶显影单元包括匀胶显影单元第一工位和匀胶显影单元第二工位，排风系统包括：公用风道，公用风道设有公用风道排气口；与匀胶显影单元第一工位适配的第一风道，第一风道设有第一进气口，并与公用风道连通；与匀胶显影单元第二工位适配的第二风道，第二风道设有第二进气口，并与公用风道连通；第一风道气控风阀，第一风道气控风阀设于第一风道，并用于控制第一风道的开闭；第二风道气控风阀，第二风道气控风阀设于第二风道，并用于控制第二风道的开闭。

本发明授权一种匀胶显影单元的排风系统及其控制方法在权利要求书中公布了：1.一种用于匀胶显影单元的排风系统，其特征在于，所述匀胶显影单元包括匀胶显影单元第一工位和匀胶显影单元第二工位，所述排风系统10包括： 公用风道100，所述公用风道100设有公用风道排气口101； 与所述匀胶显影单元第一工位适配的第一风道203，所述第一风道203设有第一进气口，并与所述公用风道100连通； 与所述匀胶显影单元第二工位适配的第二风道204，所述第二风道204设有第二进气口，并与所述公用风道100连通； 第一风道气控风阀205，所述第一风道气控风阀205设于所述第一风道203，并用于控制所述第一风道203的开闭； 第二风道气控风阀206，所述第二风道气控风阀206设于所述第二风道204，并用于控制所述第二风道204的开闭； 公用风道气控风阀301，所述公用风道气控风阀301设于所述公用风道100，用于控制公用风道100的开闭； 手动风阀302，所述手动风阀302用于调节风道中的风速，所述手动风阀302设于所述第一风道203和所述第二风道204中的任一者。

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