美满芯盛(杭州)微电子有限公司王敏锐获国家专利权
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龙图腾网获悉美满芯盛(杭州)微电子有限公司申请的专利一种基于硅衬底的梳齿状通道热雾化器及其制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115363271B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210914300.5，技术领域涉及：A24F40/46；该发明授权一种基于硅衬底的梳齿状通道热雾化器及其制造方法是由王敏锐;俞挺;李文翔设计研发完成，并于2022-07-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于硅衬底的梳齿状通道热雾化器及其制造方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于硅衬底的梳齿状通道热雾化器，包括：硅衬底和电极，电极制作于硅衬底表面，电极呈环状结构，电极内侧的硅衬底表面上设置有若干个第一条形孔，电极两侧的硅衬底表面上设置有若干个梳齿型雾化通道，梳齿型雾化通道包括第二条形孔和若干个第三条形孔，若干个第三条形孔平行等距布置，第二条形孔设置在第三条形孔远离电极一端，第三条形孔连通至第二条形孔。本发明还公开了一种基于硅衬底的梳齿状通道热雾化器制造方法。本发明相较于现有技术，提高雾化通道的加工效率，减少硅衬底上电极热量损失，提高热雾化器芯片的雾化效率。
本发明授权一种基于硅衬底的梳齿状通道热雾化器及其制造方法在权利要求书中公布了：1.一种基于硅衬底的梳齿状通道热雾化器，其特征在于，包括：硅衬底1和电极2，所述电极2制作于所述硅衬底1表面，所述电极2呈环状结构，所述电极2内侧的所述硅衬底1表面上设置有若干个第一条形孔11，所述电极2两端外侧的所述硅衬底1表面上设置有若干个梳齿型雾化通道12，所述梳齿型雾化通道12包括第二条形孔121和若干个第三条形孔122，若干个所述第三条形孔122平行等距布置，所述第二条形孔121设置在所述第三条形孔122远离所述电极2一端，所述第三条形孔122连通至第二条形孔121。
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