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龙图腾网获悉季华实验室申请的专利反应腔内外延片测温方法、装置、电子设备及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115326222B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211005536.3，技术领域涉及：G01K7/02；该发明授权反应腔内外延片测温方法、装置、电子设备及存储介质是由盛飞龙;钟新华;唐卓睿;徐俊;仇礼钦;谢利华设计研发完成，并于2022-08-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本反应腔内外延片测温方法、装置、电子设备及存储介质在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体制造技术领域，具体公开了一种反应腔内外延片测温方法、装置、电子设备及存储介质；该方法包括：将热电偶温度计充当外延片放置于反应腔内的衬底托盘上，也将钨铼热电偶放在反应腔内，在预设的第一加热温度范围内获取钨铼热电偶与热电偶温度计之间的温度变换关系，即是获得钨铼热电偶与外延片实际温度之间的变换关系；在外延反应过程中，根据钨铼热电偶和测温探头测取的温度、以及钨铼热电偶与热电偶温度计之间的温度变换关系，换算得到关于外延片实际温度与测温设备所测取的温度之间的变换关系；在实际反应中，只需根据测温探头测得的温度，即可获得外延片的实际温度；该方法简单，实用，可直接获取到外延片的实际温度。

本发明授权反应腔内外延片测温方法、装置、电子设备及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种反应腔内外延片测温方法，应用于外延设备上，其特征在于，方法包括以下步骤： 将钨铼热电偶和热电偶温度计分别置于反应腔内和反应腔的衬底托盘上,分别用于获取第一温度信息和第二温度信息； 对反应腔进行加热； 获取在预设的第一加热温度范围内第一温度信息和第二温度信息的第一温度变换关系； 撤去热电偶温度计； 对反应腔进行加热，并通过所述外延设备的测温探头获取第三温度信息； 获取在预设的第二加热温度范围内的第一温度信息和第三温度信息，所述第二加热温度范围的最高温度大于所述第一加热温度范围的最高温度，所述外延设备的反应温度大于所述第一加热温度范围的最高温度且在所述第二加热温度范围内； 根据在所述预设的第二加热温度范围内的第一温度信息和第三温度信息、以及所述第一温度变换关系获取所述第三温度信息和所述第二温度信息的第二温度变换关系； 在外延反应过程中，根据所述第二温度变换关系和通过所述测温探头实际测取的第三温度信息获取外延片的温度信息。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人季华实验室，其通讯地址为：528200 广东省佛山市南海区桂城街道环岛南路28号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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