东莞市中晶半导体科技有限公司卢敬权获国家专利权
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龙图腾网获悉东莞市中晶半导体科技有限公司申请的专利一种LED芯片的制备方法及LED芯片获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115172567B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210821397.5,技术领域涉及:H10H20/851;该发明授权一种LED芯片的制备方法及LED芯片是由卢敬权;殷淑仪;庄文荣设计研发完成,并于2022-07-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种LED芯片的制备方法及LED芯片在说明书摘要公布了:本发明涉及LED芯片制备技术领域,公开了一种LED芯片的制备方法及LED芯片。制备方法包括:提供一LED晶圆,所述LED晶圆包括生长衬底、发光结构和电极层;提供一支撑衬底;将所述电极层键合至所述支撑衬底;去除所述生长衬底,使所述发光结构得以裸露;提供一色转换结构;将所述色转换结构键合至所述发光结构上;去除所述支撑衬底,形成LED芯片。本发明将色转换结构与LED晶圆的发光结构相键合,使得最终得到的LED具备色转换功能,将所得的LED芯片替代现有的红光LED芯片以应用于小间距或微间距LED显示屏中,省去了制备倒装红光LED芯片时复杂的工艺,有效地提高了生产良率并降低成本。同时,本发明所制得的LED可靠性高,能够满足应用需求。
本发明授权一种LED芯片的制备方法及LED芯片在权利要求书中公布了:1.一种LED芯片的制备方法,其特征在于,包括: 提供一LED晶圆,所述LED晶圆包括生长衬底、发光结构和电极层; 提供一支撑衬底; 将所述电极层键合至所述支撑衬底; 去除所述生长衬底,使所述发光结构得以裸露; 提供一色转换结构; 将所述色转换结构键合至所述发光结构上; 去除所述支撑衬底,形成LED芯片; 所述提供一色转换结构,包括: 提供一透明衬底,在所述透明衬底上形成具有多个凹孔的多孔结构层,在所述凹孔内填充有色转换材料; 所述多孔结构层的材质为氮化镓,且所述多孔结构通过电化学腐蚀氮化镓结构层而形成,所述氮化镓结构层为n型掺杂层; 所述生长衬底为硅衬底; 所述透明衬底的材质为蓝宝石或碳化硅,所述多孔结构层的材质为氮化镓; 所述去除所述生长衬底,包括: 使用湿法腐蚀工艺去除所述生长衬底。
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