湖南楚微半导体科技有限公司潘钙获国家专利权
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龙图腾网获悉湖南楚微半导体科技有限公司申请的专利一种光刻验证版图和光刻版获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114935875B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210545714.5，技术领域涉及：G03F1/42；该发明授权一种光刻验证版图和光刻版是由潘钙;谢于柳设计研发完成，并于2022-05-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光刻验证版图和光刻版在说明书摘要公布了：本发明公开了一种光刻验证版图和光刻版，所述光刻验证版图包括多套版对位标记、一套以上的互套偏移标记和多组CD分辨率标记，多套所述版对位标记位于光刻版的外围非图形区，且对应不同型号的光刻机；所述互套偏移标记位于光刻版的图形区；多组CD分辨率标记位于光刻版的图形区。本发明能够实现多种不同型号光刻机匹配与校正。
本发明授权一种光刻验证版图和光刻版在权利要求书中公布了：1.一种光刻验证版图，其特征在于，包括多套版对位标记、一套以上的互套偏移标记和多组CD分辨率标记，多套所述版对位标记位于光刻版的外围非图形区，且对应不同型号的光刻机；所述互套偏移标记位于光刻版的图形区；多组CD分辨率标记位于光刻版的图形区； 所述互套偏移标记包括Bar-bar标记和Box-in-Box标记； 所述Bar-bar标记包括第一层图形和第二层图形，其中第一层图形由四个长方形围合形成方形，第二层图形同样由四个长方形围合形成方形，其中第一层的方形与第二层的方形大小不同，两者之间左右间隔距离相同，上下间隔距离相同； 所述Box-in-Box标记包括第一层方形图和第二层方形图，第一层方形图和第二层方形图大小不同，两者之间左右间隔距离相同，上下间隔距离相同； 每套所述版对位标记包括多个标记点，多个标记点呈多行多列形式布置于所述光刻版的非图形区。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人湖南楚微半导体科技有限公司，其通讯地址为：410205 湖南省长沙市长沙高新区文轩路27号麓谷钰园创业大楼2301；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
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