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龙图腾网获悉中国建材国际工程集团有限公司;CTF太阳能有限公司申请的专利具有处理腔室的系统和用于操作此类系统的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114807887B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110108439.6，技术领域涉及：C23C14/56；该发明授权具有处理腔室的系统和用于操作此类系统的方法是由彭寿;傅干华;殷新建;马立云;潘锦功;M·米施克设计研发完成，并于2021-01-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本具有处理腔室的系统和用于操作此类系统的方法在说明书摘要公布了：本发明提出一种具有处理腔室的系统和一种用于操作此类系统的方法，所述处理腔室具有两个处理隔室在其间具有真空压力屏障。所述系统包括处理腔室、第一气体源、处理泵和传送设备，所述处理腔室具有通过中间壁彼此分离的第一处理隔室和第二处理隔室。形成狭缝，所述狭缝穿透所述中间壁且提供用于使气体从所述第二处理隔室到所述第一处理隔室的流动通路和用于使衬底从所述第一处理隔室或所述第二处理隔室中的一个到所述第一处理隔室或所述第二处理隔室中的另一个的传送路径。所述第一处理隔室内的环境压力小于所述第二处理隔室内的环境压力，并且所述狭缝与所述中间壁一起在所述第一处理隔室与所述第二处理隔室之间形成真空压力屏障。

本发明授权具有处理腔室的系统和用于操作此类系统的方法在权利要求书中公布了：1.一种系统100、110、120，其具有处理腔室10、第一气体源20、处理泵30和传送设备40，所述处理腔室具有腔室壁101，其中 中间壁13布置在所述处理腔室10内，使得所述中间壁从所述腔室壁101中的一个延伸到所述腔室壁101中的另一个，由此将所述处理腔室10划分成适合于具有不同环境压力的第一处理隔室11和第二处理隔室12， 所述第二处理隔室12包括第一气体入口14，所述第一气体入口14适用于将第一气体从所述第一气体源20引入到所述第二处理隔室12中， 狭缝15穿透所述中间壁13且提供用于使气体从所述第二处理隔室12到所述第一处理隔室11的气体路径和用于衬底200的传送路径，其中所述传送设备40适合于通过所述狭缝15将所述衬底200从所述第一处理隔室11或所述第二处理隔室12中的一个传送到所述第一处理隔室11或所述第二处理隔室12中的另一个，并且其中所述传送设备40的至少一个构件布置在所述狭缝15内， 所述第一处理隔室11包括连接到所述处理泵30的第一气体出口17，所述第一气体出口17适用于将气体从所述第一处理隔室11排出； 所述系统100、110、120进一步包括加热单元50，所述加热单元50适合于将所述狭缝15加热到期望温度；并且 所述狭缝15形成为类似于中空盒，所述中空盒具有通过衬底传送平面41和用于传送所述衬底200的必需空间在截面中彼此分离的上侧153和下侧154，所述加热单元50布置在所述上侧153上方和所述下侧154下方。

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