应用材料公司P·Z·沃斯获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利用于同时的基板传送的机器人获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114097070B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080050576.2，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权用于同时的基板传送的机器人是由P·Z·沃斯;C·T·卡尔森;J·M·舒浩勒设计研发完成，并于2020-07-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于同时的基板传送的机器人在说明书摘要公布了：示例性基板处理系统可包括传送区域壳体，其界定与多个处理区域流体耦接的传送区域。传送区域壳体的侧壁可界定用于提供和接收基板的可密封出入口。系统可包括具有中心毂centralhub的传送设备，中心毂包括轴，轴在远端延伸穿过传送区域壳体进入传送区域。传送设备可包括横向平移设备，横向平移设备与传送区域壳体的外表面耦接，并且所述横向平移设备经配置以提供轴的横向移动的至少一个方向。系统还可包括终端受动器，终端受动器在传送区域内与轴耦接。终端受动器可包括多个臂，所述多个臂的臂数量等于所述传送区域中多个基板支撑件中的基板支撑件的数量。
本发明授权用于同时的基板传送的机器人在权利要求书中公布了：1.一种基板处理系统，包括： 传送区域壳体，所述传送区域壳体界定与多个处理区域流体耦接的传送区域，其中所述传送区域壳体的侧壁界定用于提供和接收基板的能密封出入口； 多个基板支撑件，所述多个基板支撑件设置在所述传送区域内；和 传送设备，所述传送设备包括： 中心毂，所述中心毂包括轴，所述轴在远端延伸穿过所述传送区域壳体进入所述传送区域， 横向平移设备，所述横向平移设备与所述传送区域壳体的外表面耦接，所述横向平移设备经配置以提供所述轴的横向移动的至少一个方向，和 终端受动器，所述终端受动器在所述传送区域内在所述轴的所述远端处与所述轴耦接，所述终端受动器包括多个臂，所述多个臂具有臂数量，所述臂数量等于所述多个基板支撑件的基板支撑件数量。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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