ASM IP私人控股有限公司郑元基获国家专利权
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龙图腾网获悉ASM IP私人控股有限公司申请的专利基板处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112309900B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010587316.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板处理设备是由郑元基;李主日;张夏硕设计研发完成，并于2020-06-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理设备在说明书摘要公布了：一种具有改进的排气结构的基板处理设备包括接地的导电延伸部，其配置成防止在连接到反应空间的排气空间中产生寄生等离子体。基板处理设备防止在反应空间以外的区域比如反应空间中产生寄生等离子体。因此，可以防止功率损失并且可以实现稳定的等离子体处理。
本发明授权基板处理设备在权利要求书中公布了：1.一种基板处理设备，包括： 基板支撑单元，其配置为支撑基板； 处理单元，其设置在基板支撑单元上方，其中，反应空间限定在基板支撑单元与处理单元之间； 排气单元，其提供连接到反应空间的排气空间；以及 导电延伸部，其围绕排气空间的至少一部分； 其中，所述排气单元包括设置在反应空间和排气空间之间的阻挡壁，并且所述阻挡壁的第一表面限定反应空间，并且所述阻挡壁的第二表面限定排气空间； 其中，所述导电延伸部沿着阻挡壁的第二表面延伸。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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