北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司刘伟获国家专利权
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龙图腾网获悉北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司申请的专利一种退火设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223501824U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422908144.9，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种退火设备是由刘伟;翟冬梅;冉光煜;范朋伟设计研发完成，并于2024-11-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种退火设备在说明书摘要公布了：本申请提供一种提供退火设备，包括反应腔、冷却腔和热源。反应腔用于容纳晶圆；冷却腔至少位于所述反应腔的一侧，且与反应腔相邻设置；若干热源用于加热反应腔内的晶圆并设置于冷却腔内，且冷却腔两端的腔壁分别设置有流入口和流出口，供冷却流体通过冷却腔。本申请提供的提供退火设备显著提升了降温速率，在保证峰值温度的同时降低了退火工艺的降温时间，从而降低晶圆热预算，减少注入离子的扩散。
本实用新型一种退火设备在权利要求书中公布了：1.一种退火设备，其特征在于，包括反应腔、冷却腔和热源，所述反应腔用于容纳晶圆；所述冷却腔至少位于所述反应腔的一侧，且与所述反应腔相邻设置，若干所述热源用于加热所述反应腔内的晶圆并设置于所述冷却腔内，所述冷却腔两端的腔壁分别设置有流入口和流出口，供冷却流体通过所述冷却腔。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道18号9幢一层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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