傲迪特半导体(南京)有限公司茆宏获国家专利权
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龙图腾网获悉傲迪特半导体(南京)有限公司申请的专利晶圆吸盘清洗设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223501817U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422681279.6，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型晶圆吸盘清洗设备是由茆宏;郁言威;高兴;邓桂剑;陆嘉黎;李民设计研发完成，并于2024-11-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆吸盘清洗设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及晶圆吸盘清洗设备；包括有底板、清洗槽、支撑杆、连接架、固定组件、调节组件、安装组件、输送组件、清洗组件；底板的上方设置有清洗槽，底板的外侧设置有支撑杆，支撑杆设置有四组，支撑杆的一侧设置有连接架，连接架设置有四组，清洗槽的上方设置有固定组件，固定组件的一侧设置有调节组件，调节组件的下方设置有安装组件，底板的上方设置有输送组件，清洗槽的内侧设置有清洗组件；本实用新型可以解决晶圆吸盘清洗设备在工作时不能同时清洗多个吸盘，清洗过程需要分批进行，会大大延长整个生产流程的时间，降低工作效率，从而影响清洗质量的一致性的问题。
本实用新型晶圆吸盘清洗设备在权利要求书中公布了：1.晶圆吸盘清洗设备，包括有底板1和清洗槽2；其特征在于：还包括有支撑杆3、连接架4、固定组件、调节组件、安装组件、输送组件、清洗组件；底板1的上方设置有清洗槽2，底板1的外侧设置有支撑杆3，支撑杆3设置有四组，支撑杆3的一侧设置有连接架4，连接架4设置有四组，清洗槽2的上方设置有固定组件，固定组件的一侧设置有调节组件，调节组件的下方设置有安装组件，底板1的上方设置有输送组件，清洗槽2的内侧设置有清洗组件；安装组件包括有固定块401、固定板402、连接杆403、固定架404和底盘405，固定组件的下方设置有固定块401，固定块401的下方设置有固定板402，固定板402的下方设置有连接杆403，连接杆403的一侧设置有固定架404，固定架404设置有多组，固定架404的内侧设置有底盘405，底盘405设置有多组。
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