江苏蚩煜科技有限公司潘伟凡获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉江苏蚩煜科技有限公司申请的专利一种高真空加热射频等离子体复合清洗衬底获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223501808U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422952966.7，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型一种高真空加热射频等离子体复合清洗衬底是由潘伟凡;陈妍;苏佳莹;王浩;邵玮;莫雯霞设计研发完成，并于2024-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高真空加热射频等离子体复合清洗衬底在说明书摘要公布了：本实用新型涉及清洗仪技术领域，具体公开了一种高真空加热射频等离子体复合清洗衬底，包括：衬底座和热辐射反射板，衬底座上安装有样品托组，衬底座的内部安装有加热棒，衬底座的底端连接有射频连接座，射频连接座的底端安装有射频屏蔽管，衬底座的下端通过绝缘板连接有水冷座，水冷座的下端安装有屏蔽板，热辐射反射板的上端安装有高压绝缘件，热辐射反射板的一侧设置有衬底安装法兰，水冷座连接有水冷机构；本实用新型能够进行脆弱材料的无损清洁：采用高温清洁的方式，能够对如石墨烯之类容易被等离子体破坏的脆弱材料进行无损清洁；提升清洗效率；增强射频系统的稳定性与可靠性；灵活的样品适配。
本实用新型一种高真空加热射频等离子体复合清洗衬底在权利要求书中公布了：1.一种高真空加热射频等离子体复合清洗衬底，其特征在于，包括：衬底座4和热辐射反射板12，所述衬底座4上安装有样品托组，所述衬底座4的内部安装有加热棒5，所述衬底座4的底端连接有射频连接座6，所述射频连接座6的底端安装有射频屏蔽管7，所述射频屏蔽管7的下端设置有射频绝缘管8，所述衬底座4的下端通过绝缘板14连接有水冷座15，所述水冷座15的下端安装有屏蔽板16，所述热辐射反射板12的上端安装有高压绝缘件9，所述热辐射反射板12的一侧设置有衬底安装法兰18，所述水冷座15连接有水冷机构。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏蚩煜科技有限公司，其通讯地址为：226001 江苏省南通市崇川区观音山街道青秀路8号10幢；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励