浙江创芯集成电路有限公司刘智远获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉浙江创芯集成电路有限公司申请的专利离子注入机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223501804U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423070637.6，技术领域涉及：H01J37/317；该实用新型离子注入机是由刘智远;李嵘;高伟;周光亮;李志鹏设计研发完成，并于2024-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本离子注入机在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种离子注入机，包括：壳体，所述壳体具有加工腔室，以及设置于所述加工腔室底部，承载残留物的屏蔽板；穿设于所述壳体，且与所述加工腔室连通，提供供保护气体通过的供气通道；设置于所述加工腔室内，且与所述供气通道的出气端口连通，对所述保护气体进行电离处理，生成目标离子的电离腔，所述电离腔位于所述屏蔽板上方；设置于所述加工腔室内，且与所述电离腔电连接，向所述电离腔提供驱动电压，使得所述电离腔向所述加工腔室喷洒所述目标离子的供电装置。采用上述技术方案，能够提高加工腔室内的清洁度。
本实用新型离子注入机在权利要求书中公布了：1.一种离子注入机，其特征在于，包括： 壳体，所述壳体具有加工腔室，以及设置于所述加工腔室底部，承载残留物的屏蔽板； 穿设于所述壳体，且与所述加工腔室连通，提供供保护气体通过的供气通道； 设置于所述加工腔室内，且与所述供气通道的出气端口连通，对所述保护气体进行电离处理，生成目标离子的电离腔，所述电离腔位于所述屏蔽板上方； 设置于所述加工腔室内，且与所述电离腔电连接，向所述电离腔提供驱动电压，使得所述电离腔向所述加工腔室喷洒所述目标离子的供电装置。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浙江创芯集成电路有限公司，其通讯地址为：311200 浙江省杭州市萧山区宁围街道平澜路2118号浙江大学杭州国际科创中心水博园区11幢4层-5层(自主申报)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励