普科(清新)电路板有限公司郭容泉获国家专利权
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龙图腾网获悉普科(清新)电路板有限公司申请的专利一种适用于曝光机基板载台的外置除尘装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223501296U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423191750.X，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种适用于曝光机基板载台的外置除尘装置是由郭容泉设计研发完成，并于2024-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种适用于曝光机基板载台的外置除尘装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种适用于曝光机基板载台的外置除尘装置，包括有安装件，安装件左部前后两侧均连接有吸盘，安装件右部上侧设置有移动机构，移动机构上滑动式连接有等离子吹风机，安装件左部上侧滑动式连接有安装底座，安装件左部上侧开有滑槽，安装底座通过紧固件安装在滑槽上，安装底座上部滑动式连接有连接件，连接件上设有传感器，安装底座上部右侧滑动式连接有第一卡栓，第一卡栓与安装底座之间连接有弹簧，安装件右侧设置有辅助支撑机构。本实用新型通过等离子吹风机去除曝光机载台表面的尘埃颗粒，减少尘埃颗粒对曝光过程的干扰，确保曝光图案的清晰度和精度，等离子吹风机能够有效去除曝光机运作时产生的静电，有效减少静电吸附灰尘。
本实用新型一种适用于曝光机基板载台的外置除尘装置在权利要求书中公布了：1.一种适用于曝光机基板载台的外置除尘装置，其特征在于：包括有安装件1，所述安装件1左部前后两侧均连接有吸盘2，所述安装件1右部上侧设置有移动机构9，所述移动机构9上滑动式连接有等离子吹风机3，所述等离子吹风机3下部连接有等离子模块，所述等离子吹风机3上部连接有吹风管，所述吹风管上连接有出风口，所述安装件1左部上侧滑动式连接有安装底座4，所述安装件1左部上侧开有滑槽41，所述安装底座4通过紧固件安装在所述滑槽41上，所述安装底座4上部滑动式连接有连接件5，所述连接件5上设有传感器10，所述安装底座4上部右侧滑动式连接有第一卡栓6，所述第一卡栓6与所述安装底座4之间连接有弹簧7，所述安装件1右侧设置有辅助支撑机构8。
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