成都路维光电有限公司卢兴建获国家专利权
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龙图腾网获悉成都路维光电有限公司申请的专利一种去除掩膜版边缘铬残留的装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223501293U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423206966.9，技术领域涉及：G03F1/82；该实用新型一种去除掩膜版边缘铬残留的装置是由卢兴建设计研发完成，并于2024-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种去除掩膜版边缘铬残留的装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种去除掩膜版边缘铬残留的装置，涉及掩膜版技术领域，包括：装置主体，内部设有蚀刻液储存罐和去离子水储存罐；两个药液喷洒装置，滑动连接在装置主体上表面，所述药液喷洒装置顶部设置有压块用于阻挡喷洒的药液浸入掩膜版中心；掩膜版本体，固定在两个药液喷洒装置之间；蚀刻液喷头组件，固定在药液喷洒装置顶部，与蚀刻液储存罐连通用于对掩膜版本体边缘喷洒刻蚀液；去离子水喷头组件，固定在药液喷洒装置顶部，与去离子水储存罐连通用于对掩膜版本体边缘喷洒去离子水；本实用新型减少了人工操作，避免人工清除带来不必要的划伤等情况，有效提高了去除掩膜版边缘铬残的效率，具有操作简单、去铬残效率高、安全性好的特点。
本实用新型一种去除掩膜版边缘铬残留的装置在权利要求书中公布了：1.一种去除掩膜版边缘铬残留的装置，其特征在于，包括： 装置主体1，内部设有蚀刻液储存罐10和去离子水储存罐13； 两个药液喷洒装置5，滑动连接在装置主体1上表面，所述药液喷洒装置5顶部设置有压块505用于阻挡喷洒的药液浸入掩膜版中心； 掩膜版本体6，固定在两个药液喷洒装置5之间； 蚀刻液喷头组件8，固定在药液喷洒装置5顶部，并与蚀刻液储存罐10连通用于对掩膜版本体6边缘喷洒刻蚀液； 去离子水喷头组件9，固定在药液喷洒装置5顶部，并与去离子水储存罐13连通用于对掩膜版本体6边缘喷洒去离子水。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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