合肥晶合集成电路股份有限公司杨昱霖获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉合肥晶合集成电路股份有限公司申请的专利卡盘销的检测装置及单片式机台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223500925U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422811418.2，技术领域涉及：G01N27/00；该实用新型卡盘销的检测装置及单片式机台是由杨昱霖;郭育清;李政设计研发完成，并于2024-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本卡盘销的检测装置及单片式机台在说明书摘要公布了：本申请涉及一种卡盘销的检测装置及单片式机台，通过将第一极板与卡盘销的第一表面接触设置，将第二极板与卡盘销的第二表面接触设置，且第一表面和第二表面相对设置，从而可以通过第一极板和第二极板获取卡盘销的电信号，然后通过设置检测组件，使检测组件和第一极板、第二极板均电连接，通过检测组件为第一极板和第二极板提供测试电压，以及在测试电压的作用下，根据第一极板和第二极板之间的电信号确定卡盘销的缺陷检测结果，从而实现实时监测卡盘销的磨损情况，以便及时更换卡盘销，且本申请根据第一极板和第二极板之间的电信号获取卡盘销的磨损情况，提高卡盘销监测的精确性，同时还避免了停机检测，最大程度的保证了机台的生产效率。
本实用新型卡盘销的检测装置及单片式机台在权利要求书中公布了：1.一种卡盘销的检测装置，其特征在于，所述卡盘销包括旋转件、卡盘销主体和外突于所述卡盘销主体的定位销，所述旋转件和所述定位销均与所述卡盘销主体连接；其中，所述旋转件用于带动所述定位销转动，所述定位销用于夹持晶圆；所述检测装置包括： 第一极板，与所述卡盘销的第一表面接触设置； 第二极板，与所述卡盘销的第二表面接触设置且接地设置；其中，所述第一表面和所述第二表面相对设置； 检测组件，分别与所述第一极板、所述第二极板电连接，用于分别为所述第一极板和所述第二极板提供测试电压，以及在所述测试电压的作用下，根据所述第一极板和所述第二极板之间的电信号确定所述卡盘销的缺陷检测结果。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人合肥晶合集成电路股份有限公司，其通讯地址为：230012 安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内西淝河路88号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励