芜湖义柏载具精密技术有限公司邱摩西获国家专利权
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龙图腾网获悉芜湖义柏载具精密技术有限公司申请的专利一种晶圆片架盒检测设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223500872U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422824724.X,技术领域涉及:G01N21/01;该实用新型一种晶圆片架盒检测设备是由邱摩西;何江波;刘汝拯;谭文明设计研发完成,并于2024-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆片架盒检测设备在说明书摘要公布了:本实用新型公开一种晶圆片架盒检测设备,将晶圆片架盒放置于放置平台上,并通过启动多轴驱动组、检测组、放置平台以及光源组,光源组为检测组提供光照,检测组在多轴驱动组的驱动下,靠近晶圆片架盒,并对晶圆片架盒各个维点进行接触式检测以及视觉检测,实现多维度检测,以提高检测精度以及准确度。
本实用新型一种晶圆片架盒检测设备在权利要求书中公布了:1.一种晶圆片架盒检测设备,其特征在于,包括放置平台300、多轴驱动组400、检测组500以及光源组600; 所述检测组500用于对所述晶圆片架盒进行接触式检测以及视觉检测,所述放置平台300用于放置所述晶圆片架盒以及水平偏转所述晶圆片架盒,所述多轴驱动组400置于所述放置平台300的第一侧,所述检测组500安装于所述多轴驱动组400上,并在所述多轴驱动组400的驱动下,所述检测组500在三维空间内移动并对所述晶圆片架盒进行检测,所述光源组600预置所述放置平台300的第二侧并用于提供光源。
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