英乐威环保科技(常州)有限公司苏振定获国家专利权
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龙图腾网获悉英乐威环保科技(常州)有限公司申请的专利一种硅片加热装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223499975U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422724007.X,技术领域涉及:F26B9/08;该实用新型一种硅片加热装置是由苏振定;高军利;李军设计研发完成,并于2024-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅片加热装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及加热设备技术领域,尤其是涉及一种硅片加热装置,包括箱体、加热器、上风机、下风机以及若干翻面机构,加热器布置在箱体内底部,加热器用于加热流体,上风机布置在箱体顶面,下风机布置在箱体底面,上风机和下风机用于使得箱体内流体流动,翻面机构布置在箱体内,且翻面机构位于加热器上方,翻面机构用于供硅片放置并为硅片的翻面提供动力;翻面机构包括驱动组件、第一承接板以及第二承接板,通过翻面机构的设计,实现了硅片在烘干过程中的自动化翻面,从而完成对硅片两面的烘干,结构简单,效率高,能够同时实现硅片的翻面和搬运,提高了生产加工过程中的工作效率,适合工业化的批量生产。
本实用新型一种硅片加热装置在权利要求书中公布了:1.一种硅片加热装置,其特征在于,包括箱体1、加热器2、上风机3、下风机4以及若干翻面机构5,所述加热器2布置在箱体1内底部,所述加热器2用于加热流体,所述上风机3布置在箱体1顶面,所述下风机4布置在箱体1底面,所述上风机3和下风机4用于使得箱体1内流体流动,所述翻面机构5布置在箱体1内,且所述翻面机构5位于加热器2上方,所述翻面机构5用于供硅片放置并为硅片的翻面提供动力; 所述翻面机构5包括驱动组件51、第一承接板52以及第二承接板53,所述驱动组件51和箱体1固定连接,所述第一承接板52和箱体1转动连接,所述第二承接板53和箱体1转动连接,所述驱动组件51的输出端传动连接第一承接板52和第二承接板53,所述驱动组件51用于为第一承接板52和第二承接板53的合拢和分离提供动力,所述第一承接板52和第二承接板53均用于供硅片放置。
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