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龙图腾网获悉海南大学三亚研究院申请的专利碳化硅外延生长设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223496708U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423106775.5，技术领域涉及：C30B29/36；该实用新型碳化硅外延生长设备是由陈豪杰;范谞;余乐俊;吕威;周辜名设计研发完成，并于2024-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本碳化硅外延生长设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种碳化硅外延生长设备，包括腔体、阀组、压力控制组件和物料转移机构。腔体内设置有生长腔室、传输腔室、衬底片暂存腔室和外延片暂存腔室。阀组包括设置在衬底片暂存腔室与传输腔室之间的第一开关阀、设置在生长腔室与传输腔室之间的第二开关阀和设置在外延片暂存腔室与传输腔室之间的第三开关阀。压力控制组件包括用于控制衬底片暂存腔室内压力的第一压力控制器和用于控制外延片暂存腔室内压力的第二压力控制器。物料转移机构设置在传输机构内。本实用新型提供的碳化硅外延片生长设备，在衬底片或外延片转移时仅需调整衬底片暂存腔室和外延片暂存腔室的压力即可，节省生长时间，且可以更好的保障生长腔室的洁净度。

本实用新型碳化硅外延生长设备在权利要求书中公布了：1.一种碳化硅外延生长设备，其特征在于，包括： 腔体，所述腔体内设置有生长腔室110、传输腔室120、衬底片暂存腔室130和外延片暂存腔室140，所述生长腔室110、所述衬底片暂存腔室130和所述外延片暂存腔室140均与所述传输腔室120连通； 阀组，包括第一开关阀210、第二开关阀220和第三开关阀230，所述第一开关阀210设置在所述衬底片暂存腔室130与所述传输腔室120之间，所述第二开关阀220设置在所述生长腔室110与所述传输腔室120之间，所述第三开关阀230设置在所述外延片暂存腔室140与所述传输腔室120之间； 压力控制组件，包括第一压力控制器310和第二压力控制器320，所述第一压力控制器310用于控制所述衬底片暂存腔室130内的压力，所述第二压力控制器320用于控制所述外延片暂存腔室140内的压力； 物料转移机构，所述物料转移机构设置在所述传输腔室120内，且所述物料转移机构的移动夹持端用于在所述衬底片暂存腔室130、所述传输腔室120、所述生长腔室110以及所述外延片暂存腔室140之间运动。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人海南大学三亚研究院，其通讯地址为：572024 海南省三亚市崖州区大学路7号海南大学生物医学工程学院D区；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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