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京航新材(苏州)有限公司请求不公布姓名获国家专利权

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龙图腾网获悉京航新材(苏州)有限公司申请的专利一种具有碳化硅涂层的硅片外延基座获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223496707U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422923740.4,技术领域涉及:C30B25/18;该实用新型一种具有碳化硅涂层的硅片外延基座是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成,并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。

一种具有碳化硅涂层的硅片外延基座在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体加工技术领域,具体为一种具有碳化硅涂层的硅片外延基座,其包括基座,包括基座本体和固定机构;基座本体上设置有五个环形阵列分布的安装槽,安装槽的内部设置有固定柱,固定柱上同轴设置有安装盘与放置板,固定柱、安装盘与基座本体连通设置有通道;固定机构包括滑动连接在通道内部设置有活塞、同轴设置在活塞上的连接杆、四个环形阵列分布在活塞上的立板、设置在连接杆上且具有通孔的限位架,以及设置在基座本体上的稳定组件,立板滑动设置在通道的内部,立板之间设置有间隙。本实用新型不仅能同时放置多个硅片,且能将硅片稳定、安全地固定放置在基座上,提高硅片的生产加工效率。

本实用新型一种具有碳化硅涂层的硅片外延基座在权利要求书中公布了:1.一种具有碳化硅涂层的硅片外延基座,其特征在于,包括: 基座本体1,其上设置有五个环形阵列分布的安装槽2,安装槽2的内部设置有固定柱3,固定柱3上同轴设置有安装盘4与放置板5,固定柱3、安装盘4与基座本体1连通设置有通道7; 固定机构,其包括滑动连接在通道7内部设置有活塞8、同轴设置在活塞8上的连接杆9、四个环形阵列分布在活塞8上的立板15、设置在连接杆9上且具有通孔的限位架11,以及设置在基座本体1上的稳定组件,立板15滑动设置在通道7的内部,立板15之间设置有间隙。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人京航新材(苏州)有限公司,其通讯地址为:215600 江苏省苏州市张家港市杨舍镇塘市新泾东路500号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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