深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司黄海涛获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司申请的专利电镀装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223496685U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423030419.X,技术领域涉及:C25D17/02;该实用新型电镀装置是由黄海涛;罗小贵;曾辉设计研发完成,并于2024-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本电镀装置在说明书摘要公布了:本公开实施例公开了一种电镀装置,包括:电镀腔,用于盛装电镀液;磁化装置,用于提供磁场、磁化所述电镀液;所述磁化装置包括:第一导电线圈,环绕所述电镀腔的外侧壁;承载头,用于承载晶圆;所述承载头包括阴极,所述阴极与所述晶圆连接;阳极,位于所述电镀腔中且与所述电镀腔中的电镀液接触。
本实用新型电镀装置在权利要求书中公布了:1.一种电镀装置,其特征在于,包括: 电镀腔,用于盛装电镀液; 磁化装置,用于提供磁场、磁化所述电镀液;所述磁化装置包括:第一导电线圈,环绕所述电镀腔的外侧壁; 承载头,用于承载晶圆;所述承载头包括阴极,所述阴极与所述晶圆连接; 阳极,位于所述电镀腔中且与所述电镀腔中的电镀液接触。
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