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成都铭峰新源科技有限公司胡华伟获国家专利权

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龙图腾网获悉成都铭峰新源科技有限公司申请的专利一种小型化宽幅高精度气体供给系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117072874B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311079438.9,技术领域涉及:F17D1/04;该发明授权一种小型化宽幅高精度气体供给系统是由胡华伟;胡长波;李云杰;曾高强设计研发完成,并于2023-08-25向国家知识产权局提交的专利申请。

一种小型化宽幅高精度气体供给系统在说明书摘要公布了:本发明公开了一种小型化宽幅高精度气体供给系统,包括集气室7和出气室16,所述集气室7通过输入管道接入高压气源,并通过气体控制器进行流量供给,输出至出气室16进行缓冲整流,所述出气室16通过输出管道输出气体,所述输出管道上设置有流量计量设备,对输出气体进行流量测量。本发明气体控制器结构简单,技术成熟度高,控制范围大,采用临界流文丘里喷嘴进行流量检测,使得供给装置整体结构简单、成本低,可控度高并且能够满足下游对气体流量范围大、高精度、快速响应的要求。

本发明授权一种小型化宽幅高精度气体供给系统在权利要求书中公布了:1.一种小型化宽幅高精度气体供给系统,其特征在于,包括集气室7和出气室16,所述集气室7通过输入管道接入高压气源,并通过气体控制器进行流量供给,输出至出气室16进行缓冲整流,所述出气室16通过输出管道输出气体,所述输出管道上设置有流量计量设备,对输出气体进行流量测量; 输入管道上设置有显示气体压力的第一压力表1、过滤气体的过滤器2以及切断气路的第一手动球阀3和第一气动球阀4;集气室7上设置有采集气体压力的第一压力变送器5、显示气体压力的第二压力表6、排放气体的第一排空阀8以及排放杂质的第一排污阀9;气体控制器包括多组气体控制单元,所述气体控制单元由供气调压的喉道10和电磁阀11串联组成; 流量计量设备采用临界流文丘里喷嘴,所述临界流文丘里喷嘴按照圆环形喉道临界流文丘里喷嘴形式制作而成;输出管道包括两条并联的支路,其中,一条支路上设置有第一临界流文丘里喷嘴21和第二气动球阀22,另一条支路上设置有第二临界流文丘里喷嘴23和第三气动球阀24,输出管道末端还设置有显示气体压力的第四压力表25; 所述喉道10采用临界流标准喷嘴形式制作而成,采用的临界流标准喷嘴喉道面积按照二进制规律排列,通过不同的喉道组合不同喉道面积,组合喉道面积范围在所有喉道面积之和与最小喉道面积之间,最小分辨率是最小喉道面积; 所述临界流标准喷嘴,在临界压比工况时,流量计算公式为: ; 式中,m:流量Kgs,c为常系数,不同气体的值不同,A为喷嘴喉部最小截面积m2,为喷嘴入口压力Pa,T为喷嘴入口的总温K; 在不满足临界压比工况时,流量计算公式为: ; 式中,m:流量Kgs;:流通系数;:喷嘴入口压力Pa;:喷嘴出口压力Pa;:最大允许背压比;A:喉道横截面积m2;T:喉道入口气体温度K;K:等熵指数;R:气体常数。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人成都铭峰新源科技有限公司,其通讯地址为:610041 四川省成都市高新区吉庆三路333号1栋3单元17层1706号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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