华中科技大学谷洪刚获国家专利权
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龙图腾网获悉华中科技大学申请的专利一种基于加权探针的叠层衍射位置校正方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116698791B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310532396.3,技术领域涉及:G01N21/47;该发明授权一种基于加权探针的叠层衍射位置校正方法是由谷洪刚;钟磊;刘世元;刘力设计研发完成,并于2023-05-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于加权探针的叠层衍射位置校正方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种基于加权探针的叠层衍射位置校正方法,属于相干衍射成像领域,该方法为:采集衍射光场强度信息,同时初始化照明探针和待测样品的信息函数以及探针位置;获得出口波并导入传播模型获得模拟衍射光场,替换衍射光场强度信息进而获得更新衍射光场;将更新衍射光场导入逆向传播模型并获得衍射出口波,进而更新各个扫描位置待测样品和照明探针的信息函数;在探针位置周围形成探针矩阵,计算相关性后更新探针位置,重复上述步骤以进行迭代,直至完成预设次数迭代或达到预设条件。本发明可以避免局部未收敛区域对全局扫描位置校正的相互串扰,极大地提升了叠层衍射位置校正方法的收敛稳定性和收敛精度。
本发明授权一种基于加权探针的叠层衍射位置校正方法在权利要求书中公布了:1.一种基于加权探针的叠层衍射位置校正方法,其特征在于,该方法包括如下步骤: S1采集待测样品各个扫描位置的衍射光场强度信息,同时初始化照明探针和待测样品的信息函数以及探针位置; S2将各个扫描位置待测样品与照明探针的信息参数相乘以获得出口波; S3将步骤S2获得的出口波导入传播模型中获得模拟衍射光场,并将所述模拟衍射光场中的强度信息替换为步骤S1获得的衍射光场强度信息,进而获得更新衍射光场; S4将所述更新衍射光场导入逆向传播模型并获得衍射出口波; S5根据步骤S1获得的出口波和步骤S4获得的衍射出口波更新各个扫描位置待测样品和照明探针的信息函数; S6在探针位置周围形成探针矩阵,并与更新后的待测样品和照明探针的信息函数计算相关性,然后根据其更新探针位置; S7根据更新后的照明探针和待测样品的信息函数以及探针位置,重复步骤S2~S6以进行迭代,直至完成预设迭代次数或达到预设条件,进而输出照明探针和待测样品的信息函数以及探针位置,以此完成叠层衍射位置校正。
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