江西兆驰半导体有限公司周志兵获国家专利权
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龙图腾网获悉江西兆驰半导体有限公司申请的专利GaN-LED外延片表面粗化方法、外延片及LED获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115799409B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211545835.6,技术领域涉及:H10H20/01;该发明授权GaN-LED外延片表面粗化方法、外延片及LED是由周志兵;张星星;林潇雄;胡加辉;金从龙设计研发完成,并于2022-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本GaN-LED外延片表面粗化方法、外延片及LED在说明书摘要公布了:本发明涉及半导体技术领域,具体公开一种GaN‑LED外延片表面粗化方法、外延片及LED,包括:提供一衬底;在衬底上生长GaN外延层;在GaN外延层的表面覆盖密封膜层;采用激光束对覆盖有密封膜层的GaN外延层进行照射;其中,所述密封膜层的禁带宽度高于所述GaN外延层的禁带宽度,且所述激光束的光量子能量介于所述GaN外延层的禁带宽度与所述密封膜层的禁带宽度之间。本发明的表面粗化方法工艺简单,设备精度要求低,加工效率高,易于实现,生产成本低。
本发明授权GaN-LED外延片表面粗化方法、外延片及LED在权利要求书中公布了:1.一种GaN-LED外延片表面粗化方法,其特征在于,包括: 提供一衬底; 在所述衬底上生长GaN外延层; 在所述GaN外延层的表面覆盖密封膜层; 采用激光束对覆盖有所述密封膜层的GaN外延层进行照射; 其中,所述密封膜层的禁带宽度高于所述GaN外延层的禁带宽度,且所述激光束的光量子能量介于所述GaN外延层的禁带宽度与所述密封膜层的禁带宽度之间。
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