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龙图腾网获悉沈阳芯源微电子设备股份有限公司申请的专利晶圆偏移量检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115763317B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211520140.2，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权晶圆偏移量检测方法是由吴天尧;彭雪亮;陈兴隆;苗涛设计研发完成，并于2022-11-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆偏移量检测方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种晶圆偏移量检测方法，包括：获取传感器扫描到所述晶圆边缘的扫描点的第一边缘位置，所述传感器扫描到所述扫描点时产生第一扫描信号；获得所述第一扫描信号产生时所述机械手的所在位置与所述第二位置之间的第一距离；通过所述第一边缘位置和所述第一距离获得当所述机械手位于所述第二位置时所述扫描点的第二边缘位置；通过所述第二边缘位置和所述晶圆的半径获得所述晶圆偏移时的偏移圆心位置；通过所述偏移圆心位置与所述基准圆心位置之间的位置关系获得所述晶圆的偏移量，本发明无需在设备内设置对中单元避免了晶圆运输至对中单元的步骤，进而提升了提高工艺效率。

本发明授权晶圆偏移量检测方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆偏移量检测方法，其特征在于，包括如下步骤：设置晶圆的基准圆心位置；使用机械手带动所述晶圆从路径的第一位置移动至第二位置；获取传感器的延迟和所述机械手的移动速度；所述传感器分别设置于所述晶圆的圆心的移动路径的两侧； 获取传感器扫描到所述晶圆边缘的扫描点的第一边缘位置，所述传感器扫描到所述扫描点时产生第一扫描信号；根据所述传感器的延迟和所述机械手的移动速度对所述第一边缘位置进行补偿；获得所述第一扫描信号产生时所述机械手的所在位置与所述第二位置之间的第一距离；通过补偿后的所述第一边缘位置和所述第一距离获得当所述机械手位于所述第二位置时所述扫描点的第二边缘位置；根据所述传感器的延迟和所述机械手的移动速度对所述第二边缘位置进行补偿；通过补偿后的所述第二边缘位置和所述晶圆的半径获得所述晶圆偏移时的偏移圆心位置，包括： 使用两个所述传感器获得两个所述第二边缘位置；通过两个所述第二边缘位置和所述晶圆半径获得两个待确定圆心位置；计算两个所述待确定圆心位置分别与所述基准圆心位置的距离，将距离较近的一个作为所述偏移圆心位置；通过所述偏移圆心位置与所述基准圆心位置之间的位置关系获得所述晶圆的偏移量。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人沈阳芯源微电子设备股份有限公司，其通讯地址为：110168 辽宁省沈阳市浑南区飞云路16号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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